广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院季生象获国家专利权
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龙图腾网获悉广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院申请的专利一种电子束光刻胶成膜树脂及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116355126B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211674380.8，技术领域涉及：C08F220/22；该发明授权一种电子束光刻胶成膜树脂及其制备方法和应用是由季生象;李小欧;刘亚栋;魏梦君设计研发完成，并于2022-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子束光刻胶成膜树脂及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于光刻胶微电子化学技术领域，公开了一种电子束光刻胶成膜树脂及其制备方法和应用，成膜树脂包含如Ⅰ式所示无规共聚物结构。所述式Ⅰ树脂结构是由芳香族乙烯基单体、α‑卤代丙烯酸酯单体和马来酸酐单体无规共聚得到；其中x、y、z为单体所占的摩尔比例，0.1≤x≤0.8，0.1≤y≤0.8，0.1≤z≤0.3，x+y+z＝1；R1为H或C1～C3烷烃及其衍生物中的一种，R2为F、Cl、Br或I；R3为金刚烷基及其衍生物中的一种；一种光刻胶组合物，包含上述成膜树脂1wt％～10wt％，助剂和有机溶剂。该光刻胶具有良好的灵敏度、粘附性和耐干法刻蚀性能，在电子束光刻胶的主体成膜树脂上有良好的应用。
本发明授权一种电子束光刻胶成膜树脂及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种电子束光刻胶成膜树脂，其特征在于，包含如下所示无规共聚物结构： 所述式I聚合物结构是由芳香族乙烯基单体、α-卤代丙烯酸酯单体和马来酸酐单体无规共聚得到；其中x、y、z为单体所占的摩尔比例，0.3≤x≤0.5，0.3≤y≤0.5，0.1≤z≤0.3，x+y+z＝1；R1为H或C1～C3烷烃中的一种，R2为F、Cl、Br或I；R3为金刚烷基。
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