北京大学东莞光电研究院谢胜杰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学东莞光电研究院申请的专利一种用于气相外延生长的防返流气体输运装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115928204B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211727679.5，技术领域涉及：C30B25/14；该发明授权一种用于气相外延生长的防返流气体输运装置及方法是由谢胜杰;陈垦宇;刘南柳;姜永京;王琦;张国义设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于气相外延生长的防返流气体输运装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于气相外延生长的防返流气体输运装置及方法，该装置呈喷头结构，至少包括多路管道进气口、多路气体输运管道、多路管道出气口、喷口多路管道出气口、一内置反应室、及多处变径防返流板。通过在多路管道出气口处设置防返流板，形成类漏斗式结构，避免因多路管道出气口横截面积小、流速大、压强小而导致出气管口受周围气体影响形成湍流乃至导致流体返流。本发明通过调控喷口多路管道出气口压强差的方法，避免喷口因单一管道出气口流速过大而出现虹吸返流现象。调控气流层流输运，可以有效减少预反应产生的颗粒，进而提高晶体质量。本发明结构简单，易于制造且实用性较强，具有极高的商业价值。
本发明授权一种用于气相外延生长的防返流气体输运装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于气相外延生长的防返流气体输运装置，其特征在于：包括： Ga路管道，所述Ga路管道包括Ga路管道进气口、Ga路气体输运管道和Ga路管道出气口，所述Ga路管道出气口设有第一变径防返流板；所述第一变径防返流板为类漏斗式结构，所述Ga路管道进气口与Ga路管道出气口的横截面积比为1:3～10； ID路管道，所述ID路管道包括ID路管道进气口、ID路气体输运管道和ID路管道出气口，所述ID路管道出气口设有第二变径防返流板；所述第二变径防返流板为类漏斗式结构，所述ID路管道进气口与ID路管道出气口的横截面积比为1:5～20； NH3路管道，所述NH3路管道包括NH3路管道进气口、NH3路气体输运管道和NH3路管道出气口，所述NH3路管道出气口设有第三变径防返流板；所述第三变径防返流板为类漏斗式结构，所述NH3路管道进气口与NH3路管道出气口的横截面积比为1:3～10； 及内置反应室。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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