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无锡极电光能科技有限公司王雪戈获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡极电光能科技有限公司申请的专利具有连续进料功能的钙钛矿层气相传输沉积设备和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116121712B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310087516.3,技术领域涉及:C23C14/26;该发明授权具有连续进料功能的钙钛矿层气相传输沉积设备和方法是由王雪戈;杨建;李明洁;于振瑞设计研发完成,并于2023-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。

具有连续进料功能的钙钛矿层气相传输沉积设备和方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有连续进料功能的钙钛矿层气相传输沉积设备和方法。该设备包括真空沉积装置、蒸发装置和进料装置;真空沉积装置包括真空沉积腔和蒸气分配腔,基底设在真空沉积腔内,蒸气分配腔设在真空沉积腔室内,蒸气分配腔的下侧面设有蒸气分配出口,基底位于蒸气分配出口下方,蒸气分配腔设有蒸气入口;蒸发装置包括加热蒸发腔,加热蒸发腔内设有坩埚,加热蒸发腔上端设有蒸气出口,蒸气入口与蒸气出口之间连接有蒸气输送管道,进料装置设在加热蒸发腔的上端且与加热蒸发腔连通。该设备避免了蒸气分配腔的堵塞,且在真空沉积过程不破真空的前提下,可以实现原料的变换、加入以及设备的维修,节约时间和人工成本,具有较高的生产效率。

本发明授权具有连续进料功能的钙钛矿层气相传输沉积设备和方法在权利要求书中公布了:1.一种具有连续进料功能的钙钛矿层气相传输沉积设备,其特征在于,包括: 真空沉积装置,所述真空沉积装置包括: 真空沉积腔,基底设在所述真空沉积腔内; 蒸气分配腔,所述蒸气分配腔设在所述真空沉积腔室内,所述蒸气分配腔的下侧面设有蒸气分配出口,所述基底位于所述蒸气分配出口下方,所述蒸气分配腔设有蒸气入口; 蒸发装置,所述蒸发装置包括加热蒸发腔,所述加热蒸发腔内设有坩埚,所述加热蒸发腔上端设有蒸气出口,所述蒸气入口与所述蒸气出口之间连接有蒸气输送管道,在所述蒸气输送管道上设有第一阀门;所述加热蒸发腔连接有第一抽真空泵和第一载气管道,所述第一载气管道上设有第一载气阀门; 进料装置,所述进料装置设在所述加热蒸发腔的上端且与所述加热蒸发腔连通; 所述蒸气分配腔内设有扰流管组,所述扰流管组沿所述蒸气分配腔的长度方向布置,所述扰流管组包括至少两个由内而外间隔布置的扰流管,所述扰流管呈圆柱型筒体布置,所述扰流管的侧壁上设有开口,相邻两个所述扰流管的开口错开布置,位于最内侧的所述扰流管与所述蒸气入口连通,位于最外层的所述扰流管的开口朝向所述蒸气分配出口。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡极电光能科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市锡山经济开发区东部园大成路1066号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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