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龙图腾网获悉汕头超声显示器技术有限公司;汕头超声显示器(二厂)有限公司;汕头超声显示器有限公司申请的专利一种氧化物TFT及其保护层的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116031308B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310128803.4，技术领域涉及：H10D30/67；该发明授权一种氧化物TFT及其保护层的制造方法是由沈奕;陈远明;陈玉云;吕岳敏;许国栋设计研发完成，并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氧化物TFT及其保护层的制造方法在说明书摘要公布了：一种氧化物TFT及其保护层的制造方法，包括步骤：（1）在衬底上设置氧化物TFT；（2）在TFT上涂布正性透明的第一光敏树脂涂层并预固化；（3）在第一光敏树脂涂层上涂布负性黑色的第二光敏树脂涂层并预固化；（4）对第二光敏树脂涂层曝光，使其在第一区域的部分形成遮光性表层；（5）对第二光敏树脂涂层显影，溶解掉其在第二区域的部分，露出其底部的第一光敏树脂涂层；（6）对第一光敏树脂涂层曝光，使其在第二区域的部分受紫外光照射；（7）对第一光敏树脂涂层显影，溶解掉其在第二区域的部分，在第一区域留下叠层；（8）对叠层后固化形成保护层。本发明在制作TFT及其保护层的过程中能够减少紫外光对有源层造成的不良影响。

本发明授权一种氧化物TFT及其保护层的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化物TFT及其保护层的制造方法，包括如下步骤：（1）提供一衬底，在衬底的表面上设置氧化物TFT，氧化物TFT包括栅极、栅绝缘层、源极、漏极以及有源层，有源层是由氧化物半导体膜构成；其特征在于：所述氧化物TFT为共面结构；还包括如下步骤：（2）在氧化物TFT的表面上涂布正性透明的第一光敏树脂涂层并预固化；（3）在预固化后的第一光敏树脂涂层的表面上涂布负性黑色的第二光敏树脂涂层并预固化；（4）对第二光敏树脂涂层进行第一次曝光，通过紫外光配合掩膜板照射在有源层所处的第一区域的第二光敏树脂涂层上，以至少使第二光敏树脂涂层在第一区域的部分形成固化的遮光性表层；（5）对第二光敏树脂涂层进行第一次显影，利用显影液溶解掉第二光敏树脂涂层处在有源层之外的第二区域的部分，露出其底部的第一光敏树脂涂层；（6）对第一光敏树脂涂层进行第二次曝光，第一光敏树脂涂层在第一区域的部分为遮光性表层所遮挡而没有受到紫外光照射，第一光敏树脂涂层在第二区域的部分受紫外光照射；（7）对第一光敏树脂涂层进行第二次显影，利用显影液溶解掉第一光敏树脂涂层处在第二区域的部分，而在第一区域留下由第一光敏树脂涂层和第二光敏树脂涂层构成的叠层；（8）对所述叠层进行后固化，使得叠层在热作用下完全固化，形成覆盖在氧化物TFT之上的保护层。

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