上海集成电路材料研究院有限公司卢子尧获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路材料研究院有限公司申请的专利具有微流道的固态前驱体输送装置及输送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116377421B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310301665.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权具有微流道的固态前驱体输送装置及输送方法是由卢子尧设计研发完成，并于2023-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有微流道的固态前驱体输送装置及输送方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有微流道的固态前驱体输送装置及输送方法，在所述托盘中设置可与所述托盘匹配安装、用以承载固态前驱体的所述隔板，且所述隔板内具有隔板微流道，所述隔板的底面具有与所述隔板微流道相连通的隔板进气口，所述隔板的表面具有与所述隔板微流道相连通的隔板出气口，安装后的所述隔板与所述托盘底具有夹角以及安装后的所述隔板的底面与所述托盘底相接触，所述隔板进气口与所述托盘出气口相连通且所述隔板出气口与所述反应空腔相连通构成出气通道，从而可增大所述固态前驱体与气体之间的接触面积，延长接触时间，以满足应用需求。
本发明授权具有微流道的固态前驱体输送装置及输送方法在权利要求书中公布了：1.一种具有微流道的固态前驱体输送装置，包括壳体，以及位于所述壳体上的气源孔和排气孔，其特征在于，还包括： 设置于所述壳体内部的托盘，所述托盘包括托盘侧壁及托盘底，所述托盘底与所述托盘侧壁形成反应空腔，所述托盘底上设置有贯穿所述托盘底的托盘进气口及托盘出气口，所述托盘进气口与所述气源孔相连构成进气通道，所述托盘内具有第一安装部； 隔板，所述隔板具有第二安装部，通过所述第二安装部与所述第一安装部的装配以将所述隔板安装于所述反应空腔内，所述隔板内具有隔板微流道，且所述隔板的底面具有与所述隔板微流道相连通的隔板进气口，所述隔板的表面具有与所述隔板微流道相连通的隔板出气口，且安装后的所述隔板与所述托盘底具有夹角以及安装后的所述隔板的底面与所述托盘底之间相接触，所述隔板进气口与所述托盘出气口相连通且所述隔板出气口与所述反应空腔相连且所述反应空腔与所述排气孔相连构成出气通道，通过所述隔板承载固态前驱体。
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