季华实验室盛飞龙获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种外延炉供气结构及供气系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288694B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310346330.5，技术领域涉及：C30B25/14；该发明授权一种外延炉供气结构及供气系统是由盛飞龙;郭嘉杰;孔倩茵;王鑫;徐俊;黄吉裕设计研发完成，并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延炉供气结构及供气系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体生产技术领域，具体公开了一种外延炉供气结构及供气系统，其中，外延炉供气结构包括第一供气管道，与传送室连接，用于为传送室供应惰性气体；第二供气管道，与反应室进气端连接，用于为反应室供应初始载气；第一回气管道，其两端分别与传送室和第二供气管道连接；该外延炉供气结构设置第一回气管道连接传送室和第二供气管道，使得第二供气管道最终能为反应室输送由其原始提供的初始载气和第一回气管道提供的惰性气体构成的气浮混合载气，即利用了需要直接排放至废气处理设备中的传送室内的惰性气体来填补部分载气，有效降低整个设备的气体成本。
本发明授权一种外延炉供气结构及供气系统在权利要求书中公布了：1.一种外延炉供气系统，应用于外延炉中，所述外延炉包括依次连接的装载室、传送室和反应室，其特征在于，所述外延炉供气系统包括外延炉供气结构，所述外延炉供气结构包括： 第一供气管道，与所述传送室连接，用于为所述传送室供应惰性气体； 第二供气管道，与所述反应室进气端连接，用于为所述反应室供应初始载气； 第一回气管道，其两端分别与所述传送室和所述第二供气管道连接； 所述外延炉供气系统还包括： 控制器，用于在所述反应室进行反应时，控制所述第一供气管道、所述第二供气管道及所述第一回气管道导通，以使所述第二供气管道为所述反应室提供气浮混合载气； 所述系统还包括：第二回气管道，其两端分别与所述传送室及所述反应室上下半月连接； 所述控制器还用于在所述反应室进行惰性气体回填时，控制所述第一供气管道及所述第二回气管道导通，以使所述第二回气管道为所述反应室提供所述惰性气体； 所述第一回气管和所述第二回气管通过过渡管与所述传送室连接； 所述过渡管上设有过滤器。
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