上海大学辛涵申获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大学申请的专利一种含锡的可聚合光致产酸剂及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116675713B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310543861.3,技术领域涉及:C07F7/22;该发明授权一种含锡的可聚合光致产酸剂及其制备方法是由辛涵申;庄昌昌;张建华;薛杰;李浩源设计研发完成,并于2023-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种含锡的可聚合光致产酸剂及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种含锡的可聚合光致产酸剂,所述含锡的可聚合光致产酸剂的通式如下:其中,R1为氢或者甲基,R2为烷基、氟代烷基、含氧烷基、苯基或氟代苯基,X+为锍阳离子或碘鎓阳离子。本发明在光致产酸剂中引入高极紫外吸收元素Sn,达到提高光刻胶灵敏度的目的。
本发明授权一种含锡的可聚合光致产酸剂及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种含锡的可聚合光致产酸剂,其特征在于,所述含锡的可聚合光致产酸剂的通式如下: 其中,R1为氢或者甲基,R2为苯基或氟代苯基,X+为锍阳离子或碘鎓阳离子; 所述X+为选自以下基团之一: 其中,式中的P1、P2、P3、P4、P5、P6和P7相互独立的表示氢或1-5个非氢取代基。
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