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龙图腾网获悉重庆臻宝科技股份有限公司申请的专利一种水浴升温加快SiC电化学机械抛光速率的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116516459B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310668261.X，技术领域涉及：C25F3/30；该发明授权一种水浴升温加快SiC电化学机械抛光速率的装置及方法是由陈鸿钰;陈立航;杨佐东;郑宣设计研发完成，并于2023-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种水浴升温加快SiC电化学机械抛光速率的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种水浴升温加快SiC电化学机械抛光速率的装置，属于半导体硬脆材料超精密加工设备技术领域，包括：盛有电解液的电解液槽，以及电化学工作站，电解液槽底壁上转动安装有两个第一铜抛光头，电解液槽内设置有升温机构，第一铜抛光头顶壁通过导电胶粘接有SiC晶片，第一铜抛光头上通过第一导电滑环和导线与电化学工作站的阳极连接，电化学工作站的阴极通过导线和第二导电滑环连接有第二铜抛光头，第二铜抛光头靠近SiC晶片侧安装有抛光片，第二铜抛光头上以第二铜抛光头轴线方向为中心周向设有多个通孔。本发明通过设置升温机构对电解液升温处理，可以提高SiC晶片电化学机械抛光的电荷利用效率、阳极氧化速率和抛光速率。

本发明授权一种水浴升温加快SiC电化学机械抛光速率的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种水浴升温加快SiC电化学机械抛光速率的装置，其特征在于，包括：盛有电解液的电解液槽，以及电化学工作站，所述电解液槽底壁上转动安装有两个第一铜抛光头，所述电解液槽内设置有升温机构，所述第一铜抛光头顶壁通过导电胶粘接有SiC晶片，所述第一铜抛光头上安装有第一导电滑环，所述第一导电滑环通过导线与电化学工作站的阳极连接，所述第一导电滑环与电解液槽密封连接，所述电化学工作站的阴极通过导线连接有第二导电滑环，所述第二导电滑环上安装有第二铜抛光头，所述第二铜抛光头靠近SiC晶片侧安装有抛光片，所述第二铜抛光头上以第二铜抛光头轴线方向为中心周向设有多个通孔；所述通孔包括以第二铜抛光头轴线方向为中心周向设置的第一通孔组和第二通孔组，所述第一通孔组包括沿第二铜抛光头径向方向并排设置的四个第一通孔，所述第二通孔组包括沿第二铜抛光头径向方向并排设置的五个第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔错位设置；所述电解液槽内安装有支撑板，所述支撑板上设有第二铜抛光头能够通过的内孔以及与内孔连通的环形槽，所述环形槽内安装有能够沿环形槽轴线方向滑动的环形压板，所述环形压板与所述环形槽内壁之间连接有弹性件，所述环形压板的截面为L形，所述环形压板的第一内壁与第二铜抛光头顶壁抵接，所述环形压板的第二内壁与第二铜抛光头的侧壁抵接；所述支撑板上设有螺纹槽，所述螺纹槽内螺纹连接有环形螺纹板，所述环形螺纹板与所述支撑板连接后形成所述环形槽，所述环形螺纹板和所述环形压板之间连接有所述弹性件，所述环形螺纹板和所述环形压板两者中的其中一者上设有限位孔，所述环形螺纹板和所述环形压板两者中的另一者上安装有与限位孔配合的滑杆，所述滑杆限位滑动连接在所述限位孔内。

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