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龙图腾网获悉安徽熙泰智能科技有限公司申请的专利一种薄膜沉积装置及其沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117230411B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310784588.3，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种薄膜沉积装置及其沉积方法是由刘成元;冯璐阳;魏金婷;李文连设计研发完成，并于2023-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种薄膜沉积装置及其沉积方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体产品制造领域技术领域的一种薄膜沉积装置，本发明还涉及一种薄膜沉积方法。每个蒸镀源20位置分别设置对应的曲面反射器30，镀膜腔壁10下部还设置平面反射器40，镀膜腔壁10中部设置分束器50，分束器50包括多个分束器组件52，分束器50侧面还设置平面反射器40，平面反射器40、曲面反射器30、分束器组件52内分别设置加热部件13。本发明所述的薄膜沉积装置及其沉积方法，确保材料源发射出的气相材料或材料颗粒在薄膜沉积过程中具有较高方向性，将真空热蒸镀和分子束外延等各种气相沉积技术中的点源或线源装置转化为面源，消除阴影效应，提高沉积的均匀性，提高产品性能。

本发明授权一种薄膜沉积装置及其沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种薄膜沉积装置，其特征在于：镀膜腔壁（10）下部设置多个蒸镀源（20），每个蒸镀源（20）位置分别设置对应的曲面反射器（30），镀膜腔壁（10）下部还设置平面反射器（40），镀膜腔壁（10）中部设置分束器（50），分束器（50）包括多个分束器组件（52），分束器（50）侧面还设置平面反射器（40），平面反射器（40）设置为与水平方向呈锐角夹角布置的结构，平面反射器（40）、曲面反射器（30）、分束器组件（52）内分别设置加热部件（13）； 所述的分束器（50）的多个分束器组件（52）从上到下布置，相邻两个分束器组件（52）呈锐角夹角结构； 每个蒸镀源（20）分别包括喷嘴（21），每个蒸镀源（20）的喷嘴（21）对准一个曲面反射器（30），每个曲面反射器（30）对应一个平面反射器（40）； 每个曲面反射器（30）对应的一个平面反射器（40）与对应一个分束器组件（52）平行，分束器（50）的每个分束器组件（52）均为四棱柱结构，每个分束器组件（52）相对于水平方向的夹角小于30°。

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