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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利在线膜厚测量装置以及在线膜厚测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116904954B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310914421.4，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权在线膜厚测量装置以及在线膜厚测量方法是由刘振新;黄周师;吴毛兵;屈新成;何坤鹏设计研发完成，并于2023-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本在线膜厚测量装置以及在线膜厚测量方法在说明书摘要公布了：提供一种在线膜厚测量装置以及在线膜厚测量方法。在线膜厚测量装置用于安装在气相运输沉积的沉积室上。沉积室设有透窗。在线膜厚测量装置包括固定架、测点定位装置、膜厚测试仪、第一运动装置和第二运动装置。固定架安装在沉积室上。测点定位装置具有光发射器和光接收器。膜厚测试仪具有探测头、内置有标准测距。第一运动装置配置成：驱动测点定位装置和膜厚测试仪，以使三角测量中的点位处于探测头的轴线上并第一运动装置停止驱动。第二运动装置配置成：基于距离、探测头相对光发射器的运动前位置以及标准测距，第二运动装置控制膜厚测试仪，以使膜厚测试仪在高度方向处于与到达探测头的轴线上的点位相距标准测距的位置，进行镀膜的膜厚测量。

本发明授权在线膜厚测量装置以及在线膜厚测量方法在权利要求书中公布了：1.一种在线膜厚测量装置，其特征在于， 在线膜厚测量装置100用于安装在气相运输沉积的沉积室200上； 沉积室200内安装在高度方向Z上对齐、在长度方向X上间隔排列的多个传动辊轮300，沉积室200在长度方向X的两端设有入口400和出口500，沉积室200被加热以维持气相运输沉积所要求的沉积室200内的沉积温度，沉积室200内部连通于供给载气和镀膜材料的蒸汽的供料源，沉积室200内部连通于流通式地维持沉积室200内部真空度的抽真空装置，多个传动辊轮300用于承载从入口400进入的多个基板600并将多个基板600在长度方向X上彼此间隔地向出口500运送基板600，在出口500和入口400之间的沉积位置DP经由通入沉积室200的由载气运输的镀膜材料的蒸汽在到达该位置的对应基板600进行沉积镀膜，沉积室200的顶壁200a在与沉积位置DP紧邻的下游设置有透窗W； 在线膜厚测量装置100包括固定架1、测点定位装置2、膜厚测试仪3以及第一运动装置4和第二运动装置5， 固定架1安装在沉积室200的顶壁200a上并位于透窗W的长度方向X的一侧， 测点定位装置2具有光发射器21和光接收器22，光发射器21和光接收器22设置成光发射器21发射出的发射光线能够通过透窗W入射到沉积完成后基板600的镀膜的点位P上且在点位P反射的反射光线能够通过透窗W被光接收器22接收以使测点定位装置2能够采用三角法测量在高度方向Z上光发射器21到点位P的距离d； 膜厚测试仪3具有探测头31，探测头31在高度方向Z上对准透窗W，探测头31沿轴线311竖直向下出射光并接收沿轴线311竖直反射的光，探测头31的轴线311与光发射器21的第一中心线211和光接收器22的第二中心线221处于高度方向Z和宽度方向Y构成的与长度方向X垂直的平面内且沿宽度方向Y彼此平行，探测头31的轴线311与光发射器21的第一中心线211之间的距离为第一间距ΔYt，膜厚测试仪3用于测量沉积完成后基板600的处于探测头31的轴线311上的镀膜的点位P处的膜厚，膜厚测试仪3内置有标准测距Zb； 第一运动装置4安装在固定架1上，第一运动装置4与测点定位装置2和膜厚测试仪3通信连接，第一运动装置4连接于测点定位装置2和膜厚测试仪3，第一运动装置4配置成：驱动测点定位装置2和膜厚测试仪3在高度方向Z上一起上下竖直运动，以使测点定位装置2三角测量中的点位P处于探测头31的轴线311上并第一运动装置4停止驱动； 第二运动装置5安装在第一运动装置4上，第二运动装置5连接于膜厚测试仪3且能够在高度方向Z上带动膜厚测试仪3相对第一运动装置4和测点定位装置2运动，第二运动装置5与测点定位装置2、膜厚测试仪3和第一运动装置4通信连接，第二运动装置5配置成：在第一运动装置4停止驱动测点定位装置2和膜厚测试仪3后，基于到达探测头31的轴线311上的点位P通过三角测量的距离d、探测头31相对光发射器21的运动前位置Z0以及标准测距Zb的关系，第二运动装置5控制膜厚测试仪3在高度方向Z上下竖直运动，以使膜厚测试仪3在高度方向Z处于与到达探测头31的轴线311上的点位P相距标准测距Zb的位置，进而膜厚测试仪3的探测头31进行镀膜的膜厚测量。

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