中禾科技(常州)股份有限公司吴健获国家专利权
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龙图腾网获悉中禾科技(常州)股份有限公司申请的专利双面同时镀膜的卷绕式镀膜机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116970918B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310943688.6,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权双面同时镀膜的卷绕式镀膜机是由吴健设计研发完成,并于2023-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本双面同时镀膜的卷绕式镀膜机在说明书摘要公布了:本申请涉及双面同时镀膜的卷绕式镀膜机,属于镀膜机技术领域,双面同时镀膜的卷绕式镀膜机包括真空室、放卷辊和收卷辊,所述放卷辊和收卷辊均转动设置在真空室内,所述真空室内转动设置有第一主辊和第二主辊,所述第一主辊和第二主辊相对设置,位于所述放卷辊和收卷辊之间的基材薄膜依次滑动搭接在第一主辊和第二主辊上,所述真空室内设置有过渡辊组,位于所述第一主辊和第二主辊之间的基材薄膜滑动搭接在过渡辊组上,所述过渡辊组用于在基材薄膜从第一主辊向第二主辊运动时使基材薄膜背离第一主辊的一面贴合在第二主辊上,所述第一主辊和第二主辊下方均分布有靶座组,所述靶座组设置在真空室内。本申请具有一定程度上保证产能的效果。
本发明授权双面同时镀膜的卷绕式镀膜机在权利要求书中公布了:1.双面同时镀膜的卷绕式镀膜机,包括真空室1、放卷辊2和收卷辊3,所述放卷辊2和收卷辊3均转动设置在真空室1内,其特征在于:所述真空室1内转动设置有第一主辊4和第二主辊5,所述第一主辊4和第二主辊5相对设置,位于所述放卷辊2和收卷辊3之间的基材薄膜依次滑动搭接在第一主辊4和第二主辊5上,所述真空室1内设置有过渡辊组,位于所述第一主辊4和第二主辊5之间的基材薄膜滑动搭接在过渡辊组上,所述过渡辊组用于在基材薄膜从第一主辊4向第二主辊5运动时使基材薄膜背离第一主辊4的一面贴合在第二主辊5上,所述第一主辊4和第二主辊5下方均分布有靶座组,所述靶座组设置在真空室1内,所述靶座组用于安装靶材对基材薄膜进行磁控溅射,所述真空室1内设置有安装板6,所述安装板6与靶座组一一对应,所述靶座组包括转动设置在对应安装板6上的多个靶座7,所述靶座7的转动轴线平行于第一主辊4和第二主辊5的转动轴线,所述靶座7的纵截面为多边形,所述靶座7的不同侧面用于安装不同靶材,所述安装板6上设置有用于驱使对应的多个靶座7同步转动或固定的转动组件8,所述转动组件8包括转杆81、带轮82、皮带83和驱动源84,所述驱动源84包括转动设置在安装板6上的蜗杆841、套设在转杆81上的蜗轮842和设置在安装板6上的电机843,所述安装板6滑动设置在真空室1内,所述安装板6的滑动方向垂直于第一主辊4的转动轴线,所述真空室1内设置有用于调节安装板6带动靶座7朝向靠近或远离基材薄膜的方向滑动的调节组件,所述调节组件包括转动设置在安装板6上的第一齿轮10、设置在真空室1内的齿条11和设置在真空室1内的推动件,所述第一齿轮10的转动轴线平行于蜗杆841的转动轴线,所述第一齿轮10为不完全齿轮,所述第一齿轮10与电机843的输出轴同轴连接,所述齿条11的长度方向平行于安装板6的滑动方向,所述蜗杆841上同轴连接有连接杆12,所述连接杆12上套设有第二齿轮13,所述第一齿轮10位于齿条11和第二齿轮13之间,所述第一齿轮10用于和齿条11啮合,所述第二齿轮13用于和第一齿轮10啮合,所述推动件用于推动安装板6朝向靠近基材薄膜的方向滑动,当所述第一齿轮10与齿条11啮合时,所述第一齿轮10与第二齿轮13脱离,所述靶座7上设置有转轴9,所述转轴9转动在对应的安装板6上,所述转杆81转动设置在安装板6上,所述转杆81的转动轴线平行于对应安装板6上靶座7的转动轴线,所述带轮82分别套设在安装板6上的转杆81和转轴9上,所述皮带83绕设在多个带轮82上,多个所述带轮82通过皮带83传动连接,所述驱动源84用于驱使转杆81转动,所述蜗杆841与对应安装板6上的蜗轮842啮合,所述电机843用于驱使蜗杆841转动。
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