北京北方华创微电子装备有限公司刘贺获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118248590B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410263836.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺方法是由刘贺;纪安宽;林源为;张新翌;童鑫设计研发完成，并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺方法，属于半导体技术领域。进气组件包括相连的进气窗和切换阀板，切换阀板与进气窗相对，进气窗设有第一气体进气口和第二气体进气口，切换阀板可相对于进气窗在第一位置和第二位置之间运动，且切换阀板设有气路，气路与进气组件的出气端连通；在切换阀板位于第一位置的情况下，第一气体进气口与气路连通且第二气体进气口与气路断开；在切换阀板位于第二位置的情况下，第二气体进气口与气路连通且第一气体进气口与气路断开。如此，通过调节切换阀板的位置，可直接在进气窗的位置截断上一工艺的气体，避免上一工艺的残留气体参与下一工艺过程，有利于提升工艺效果。
本发明授权进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种进气组件，其特征在于，包括相连的进气窗210和切换阀板220，所述切换阀板220与所述进气窗210相对，所述进气窗210设有第一气体进气口211和第二气体进气口212，所述切换阀板220可相对于所述进气窗210在第一位置和第二位置之间运动，且所述切换阀板220设有气路，所述气路与所述进气组件200的出气端连通； 在所述切换阀板220位于所述第一位置的情况下，所述第一气体进气口211与所述气路连通且所述第二气体进气口212与所述气路断开；在所述切换阀板220位于所述第二位置的情况下，所述第二气体进气口212与所述气路连通且所述第一气体进气口211与所述气路断开。
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