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龙图腾网获悉合肥开悦半导体科技有限公司申请的专利一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118099054B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410329405.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂是由张新;程博设计研发完成，并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂在说明书摘要公布了：本发明公开了一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，包括机械臂主体、设置在所述机械臂主体上的晶圆叉手和限位机构。所述限位机构包括限位组件一限位组件二，所述限位组件一位于标准夹持位置，所述限位组件二上连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述限位组件靠近或远离标准位置。所述晶圆叉手上设置有限位卡口一和限位卡口二，所述限位组件一与所述限位卡口一配合夹持一种尺寸的晶圆，所述限位组件二与所述限位卡口二配合夹持另一种尺寸的晶圆。本方案的机械臂既可以用于两种尺寸的晶圆的传输，针对两种尺寸的晶圆的传输，该机械臂可以灵活切换，且无需进行零件的拆卸，切换过程通过驱动机构实现，提升机械臂通用性，同时提升加工效率。

本发明授权一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂在权利要求书中公布了：1.一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：包括机械臂主体、设置在所述机械臂主体上的晶圆叉手和限位机构； 所述限位机构包括限位组件一和限位组件二，所述限位组件一位于标准夹持位置一，所述限位组件二上连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述限位组件二靠近或远离标准夹持位置一； 所述晶圆叉手上设置有限位卡口一和限位卡口二，所述限位组件一与所述限位卡口一配合夹持一种尺寸的晶圆，所述限位组件二与所述限位卡口二配合夹持另一种尺寸的晶圆，所述标准夹持位置一是限位组件一与限位卡口一配合时的标准位置； 所述限位组件一包括挡块一和对称设置在挡块一两侧的两个弧形夹臂一；所述限位组件二包括挡块二和对称设置在挡块二两侧的两个弧形夹臂二； 所述驱动机构包括升降驱动组件和伸缩驱动组件，所述升降驱动组件与所述弧形夹臂二连接，所述伸缩驱动组件与所述挡块二连接，所述升降驱动组件和所述伸缩驱动组件分别驱动所述弧形夹臂二和所述挡块二移动至标准夹持位置二，所述标准夹持位置二是限位组件二与限位卡口二配合时的标准位置； 所述限位卡口一与所述挡块一组成用于放置一种尺寸晶圆的晶圆卡槽一，所述限位卡口二与所述挡块二组成用于放置另一种尺寸晶圆的晶圆卡槽二，所述晶圆卡槽一与所述晶圆卡槽二同心设置。

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