江苏芯德半导体科技股份有限公司石苏楠获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯德半导体科技股份有限公司申请的专利一种晶圆定位治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223167462U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420650159.7,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种晶圆定位治具是由石苏楠设计研发完成,并于2024-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆定位治具在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶圆定位治具,属于半导体封装技术领域,包括底部平台和与底部平台尺寸相适配的圆环,底部平台上设置有晶圆定位块凹槽、治具定位孔和晶圆方向块凹槽,圆环的周向位置上设置有与晶圆定位块凹槽、治具定位孔和晶圆方向块凹槽相应的若干定位件;定位件包括晶圆定位块和治具定位块;工作时,晶圆定位块插入晶圆定位块凹槽内,用于定位晶圆位置,使晶圆居中放置;治具定位销插入治具定位孔内实现固定;晶圆方向块嵌入晶圆方向块凹槽内,晶圆方向块用于固定晶圆方向;本发明通过设计的支撑块避空凹槽、晶圆定位块凹槽、若干治具定位孔和晶圆方向块凹槽协同工作,可以快速将晶圆进行定位,确保精度。
本实用新型一种晶圆定位治具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆定位治具,其特征在于:包括底部平台和与底部平台尺寸相适配的圆环,所述底部平台上设置有晶圆定位块凹槽(2)、治具定位孔(3)和晶圆方向块凹槽(4),所述圆环的周向位置上设置有与所述晶圆定位块凹槽(2)、治具定位孔(3)和晶圆方向块凹槽(4)相应的若干定位件; 所述定位件包括晶圆定位块(5)和治具定位块(7),治具定位块(7)底部居中位置有治具定位销(8);工作时,所述晶圆定位块(5)插入所述晶圆定位块凹槽(2)内,所述治具定位销(8)插入所述治具定位孔(3)内实现固定; 所述圆环上还设置有支撑块避空凹槽(1)、所述支撑块避空凹槽(1)为贯穿孔,所述支撑块避空凹槽的尺寸与底部平台上的支撑块尺寸相应,避空支撑块; 所述晶圆定位块用于固定晶圆;所述治具定位孔(3)内设置有相应的治具定位销(8),所述治具定位销(8)用于固定治具;所述晶圆方向块凹槽(4)内设置有相应的晶圆方向块(9),所述晶圆方向块(9)用于固定晶圆方向。
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