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龙图腾网获悉南京镭芯光电有限公司申请的专利一种滚筒式光罩清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223159690U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420858711.1，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种滚筒式光罩清洗装置是由邱士晋;刘奉先;李建设计研发完成，并于2024-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种滚筒式光罩清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种滚筒式光罩清洗装置，包括清洗槽、透明亚克力盖体以及光罩固定架，光罩固定架的顶部滑动设置有光罩固定盖，清洗槽的内壁位于光罩固定架下方中部位置固定安装有支撑架，清洗槽的底部安装有用于气体进行导流的第一导流管，第一导流管的外壁呈等间距安装有多个用于对气体进行喷出的第一喷头，清洗槽的底部远离第一导流管位置安装有用于对清洗液进行导流的第二导流管。由于光罩固定架会随着光罩本体一起清洗和吹干，因此二者能够一直保持清洁状态，且在清洗或吹干的过程不会像原本直接使用手拿光罩本体清洗一样出现二次污染的现象，并且气体能够从不同方向对光罩本体进行喷吹，能够快速去除附着在光罩本体表面的水滴。

本实用新型一种滚筒式光罩清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种滚筒式光罩清洗装置，其特征在于：包括清洗槽1、透明亚克力盖体2以及光罩固定架4，所述透明亚克力盖体2可拆卸设置在清洗槽1的顶端中部，所述光罩固定架4设置在清洗槽1的内部，用于对光罩本体3进行支撑和固定，所述光罩固定架4呈U型结构设计，且开口向上，所述光罩固定架4的顶部滑动设置有光罩固定盖401，所述光罩固定盖401的顶端中部固定安装有驱动轴402，所述驱动轴402的顶端贯穿透明亚克力盖体2并延伸至透明亚克力盖体2的上方，所述驱动轴402与透明亚克力盖体2转动设置，所述光罩固定架4的底端中部固定安装有用于对所述光罩固定架4进行支撑的支撑轴405，所述清洗槽1的内壁位于光罩固定架4下方中部位置固定安装有支撑架101，所述清洗槽1的底部安装有用于气体进行导流的第一导流管102，所述第一导流管102的外壁呈等间距安装有多个用于对气体进行喷出的第一喷头104，所述清洗槽1的底部远离第一导流管102位置安装有用于对清洗液进行导流的第二导流管103，所述第二导流管103的外壁呈等间距安装有多个用于对清洗液进行喷出的第二喷头105。

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