派克泰克封装技术有限公司托尔斯滕·克劳泽获国家专利权
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龙图腾网获悉派克泰克封装技术有限公司申请的专利冲洗站以及用于在晶片的连结面上产生接触金属化部的设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167440U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421326706.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型冲洗站以及用于在晶片的连结面上产生接触金属化部的设备是由托尔斯滕·克劳泽设计研发完成，并于2024-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本冲洗站以及用于在晶片的连结面上产生接触金属化部的设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种冲洗站10，所述冲洗站包括构成工艺腔11的用于容纳尤其包含去离子水的冲洗液的盆12，所述冲洗站用于冲洗可容纳到工艺腔中的晶片14，其中盆具有至少一个用于将冲洗液导入到盆中的入口15，其中入口构成为喷嘴装置16，其中喷嘴装置具有至少一个喷嘴17，借助于所述喷嘴，冲洗液能够对准晶片施加，其中喷嘴构成为扇形喷嘴或实心球喷嘴或空心球喷嘴。此外，本实用新型涉及一种用于在晶片的连结面上产生接触金属化部的设备。
本实用新型冲洗站以及用于在晶片的连结面上产生接触金属化部的设备在权利要求书中公布了：1.一种冲洗站10，所述冲洗站包括构成工艺腔11的用于容纳冲洗液的盆12，所述冲洗站用于冲洗可容纳到所述工艺腔中的晶片14，其中所述盆具有至少一个用于将冲洗液导入到所述盆中的入口15， 其特征在于， 所述入口构成为喷嘴装置16，其中所述喷嘴装置具有至少一个喷嘴17，借助于所述喷嘴，所述冲洗液能够对准所述晶片施加，其中所述喷嘴构成为扇形喷嘴或实心球喷嘴或空心球喷嘴。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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