广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种多片清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223159691U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421493700.4，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种多片清洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多片清洗装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种多片清洗装置，涉及半导体衬底材料制造技术领域，包括装置主体以及喷淋组件；喷淋组件包括至少三个喷淋件；至少三个喷淋件依次设置在装置主体上，且呈阶梯分布；装置主体在相邻两个喷淋件之间的位置上，分别设有用于固定衬底片的固定工位；各个固定工位呈阶梯分布，且阶梯分布方向与喷淋件的阶梯分布方向相同，并使得位于固定工位上的衬底片与喷淋组件在高度上错落分布，该设计增加了衬底片布置密度，减少了清洗空间占用，还方便了取放片上下料；相邻喷淋件的相向的一面上均设有喷淋孔，用于对衬底片进行喷淋清洗，实现双面清洗作业，有效提升清洗效率以及清洗效果。
本实用新型一种多片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种多片清洗装置，其特征在于，包括装置主体1以及喷淋组件； 所述喷淋组件包括至少三个喷淋件2； 至少三个所述喷淋件2依次设置在所述装置主体1上，且呈阶梯分布； 所述装置主体1在相邻两个所述喷淋件2之间的位置上，分别设有用于固定衬底片3的固定工位； 各个所述固定工位呈阶梯分布，且阶梯分布方向与所述喷淋件2的阶梯分布方向相同，并使得位于所述固定工位上的衬底片3与所述喷淋组件在高度上错落分布； 相邻所述喷淋件2的相向的一面上均设有喷淋孔21，用于对衬底片3进行喷淋清洗。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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