湖北江城芯片中试服务有限公司何玉琦获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北江城芯片中试服务有限公司申请的专利晶圆升降组件、晶圆承载装置以及晶圆制作机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167468U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421567819.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆升降组件、晶圆承载装置以及晶圆制作机台是由何玉琦设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆升降组件、晶圆承载装置以及晶圆制作机台在说明书摘要公布了：本公开实施例公开了一种晶圆升降组件、晶圆承载装置以及晶圆制作机台，所述晶圆升降组件包括：托板；丝杆，沿第一方向贯穿所述托板；所述丝杆在所述第一方向的第一端用于与驱动组件连接，所述丝杆被所述驱动组件带动旋转；滑块，位于所述托板在所述第一方向上远离所述第一端的一侧；所述丝杆贯穿所述滑块且与所述滑块螺纹连接，所述丝杆旋转带动所述滑块沿所述第一方向位移；光杆，至少一部分位于所述托板在所述第一方向上远离所述第一端的一侧；所述光杆贯穿所述滑块且与所述滑块滑动连接；顶杆，在所述第一方向的一端与所述滑块固定连接，另一端用于接触晶圆。
本实用新型晶圆升降组件、晶圆承载装置以及晶圆制作机台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆升降组件，其特征在于，包括： 托板； 丝杆，沿第一方向贯穿所述托板；所述丝杆在所述第一方向的第一端用于与驱动组件连接，所述丝杆被所述驱动组件带动旋转； 滑块，位于所述托板在所述第一方向上远离所述第一端的一侧；所述丝杆贯穿所述滑块且与所述滑块螺纹连接，所述丝杆旋转带动所述滑块沿所述第一方向位移； 光杆，至少一部分位于所述托板在所述第一方向上远离所述第一端的一侧；所述光杆贯穿所述滑块且与所述滑块滑动连接； 顶杆，在所述第一方向的一端与所述滑块固定连接，另一端用于接触晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北江城芯片中试服务有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区光谷一路227号3号楼3号(自贸区武汉片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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