江苏天芯微半导体设备有限公司牛建新获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏天芯微半导体设备有限公司申请的专利一种旋转支撑组件及外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223163527U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421596906.X，技术领域涉及：C30B23/02；该实用新型一种旋转支撑组件及外延设备是由牛建新设计研发完成，并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转支撑组件及外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种旋转支撑组件，包括石英支撑组件和石英旋转支撑件，所述石英支撑组件用于所述销下降时支撑所述销，其包括：轴、第一支撑臂；其中，所述第一支撑臂包括第一臂部和平台部，所述第一支撑臂沿所述轴的周向均匀分布，所述第一臂部的一端与所述轴连接，所述第一臂部的另一端与所述平台部连接；所述平台部包括第一凸块和第二凸块，所述第一凸块设置在所述平台部的上表面，所述第二凸块横向设置在所述平台部的外侧表面。本实用新型通过第一凸块和第二凸块的设置，可用于解决石英旋转支撑件的旋转轴在旋转过程中可能会与石英支撑组件的轴产生碰撞的问题。
本实用新型一种旋转支撑组件及外延设备在权利要求书中公布了：1.一种旋转支撑组件，用于外延设备，所述外延设备包括腔体、基座和销，所述基座水平地设置于所述腔体内，所述销可移动地设置于所述基座，所述旋转支撑组件用于支撑及旋转所述基座，其特征在于，包括： 石英支撑组件，用于在所述销下降时支撑所述销，其包括：轴、至少一第一支撑臂； 其中，所述第一支撑臂包括第一臂部和平台部，所述第一支撑臂沿所述轴的周向均匀分布，所述第一臂部的一端与所述轴连接，所述第一臂部的另一端与所述平台部连接； 所述平台部包括： 第一凸块，所述第一凸块设置在所述平台部的上表面； 第二凸块，所述第二凸块横向设置在所述平台部的外侧表面。
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