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西安华讯微芯科技有限责任公司李彬获国家专利权

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龙图腾网获悉西安华讯微芯科技有限责任公司申请的专利探针台的高度调整方法、控制设备及介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118731647B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410901349.6,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权探针台的高度调整方法、控制设备及介质是由李彬;贾亮;刘亚锋设计研发完成,并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。

探针台的高度调整方法、控制设备及介质在说明书摘要公布了:本申请提供一种探针台的高度调整方法、控制设备及介质,该方法包括:获取探针台在当前循环轮次下的初始高度以及初始步长;根据初始步长,控制探针台调整初始高度,得到探针台的调整后高度;控制自动测试设备在探针台处于调整后高度时对晶圆上的各待测器件进行开短路测试,得到待测器件的测试结果,测试结果包括:待测器件全部测试成功、待测器件部分测试成功或待测器件全部测试失败;根据测试结果,确定是否停止调整探针台的高度,若是,则停止调整探针台的高度,若否,则根据初始步长确定新步长,将新步长作为当前循环轮次的下一循环轮次的初始步长,将调整后高度作为下一循环轮次的初始高度,并进入下一循环轮次。提高探针台的高度调整效率。

本发明授权探针台的高度调整方法、控制设备及介质在权利要求书中公布了:1.一种探针台的高度调整方法,其特征在于,应用于控制设备,所述控制设备分别与自动测试设备以及探针台通信连接,晶圆放置在所述探针台上,所述晶圆上包括多个待测器件,所述方法包括: 获取所述探针台在当前循环轮次下的初始高度以及初始步长; 根据所述初始步长,控制所述探针台调整所述初始高度,得到所述探针台的调整后高度; 控制所述自动测试设备在所述探针台处于所述调整后高度时对所述晶圆上的各待测器件进行开短路测试,得到所述待测器件的测试结果,所述测试结果包括:待测器件全部测试成功、待测器件部分测试成功或待测器件全部测试失败;其中,所述测试结果用于指示各探针与各待测器件的测试点的接触程度; 根据所述测试结果,确定是否停止调整所述探针台的高度,若是,则停止调整所述探针台的高度,若否,则根据所述初始步长确定新步长,将所述新步长作为当前循环轮次的下一循环轮次的初始步长,将所述调整后高度作为所述下一循环轮次的初始高度,并进入所述下一循环轮次; 所述根据所述初始步长确定新步长,包括: 根据所述当前循环轮次之前的至少一次循环轮次的测试结果以及所述初始步长,确定所述新步长,其中,所述当前循环轮次之前的至少一次循环轮次的测试结果用于确定步长调整方向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安华讯微芯科技有限责任公司,其通讯地址为:710000 陕西省西安市高新区丈八四路20号4幢11层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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