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龙图腾网获悉肇庆市科润真空设备有限公司申请的专利一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118653125B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410964442.1，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备及方法是由朱建明设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备及方法，其设备包括循环设置的前旋转传送台、第一真空室、第二真空室、第三真空室、后旋转传送台和循环传送台，各真空室底部分别设有工件小车的传动组件，各真空室之间分别设有真空门阀；第一真空室与第三真空室并联连接至第一抽真空机组，第二真空室连接至第二抽真空机组。其方法是工件设于工件小车上，依次由前旋转传动台送入第一真空室、第二真空室、第三真空室，在第二真空室中进行镀膜，完成镀膜后由后旋转传送台送出，并通过循环传送台送回至前旋转传送台，循环进入下一次的镀膜作业。本发明设备结构简单紧凑，可实现工件快速循环镀膜。

本发明授权一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备，其特征在于，包括沿工件及工件小车的传送方向依次设置的前旋转传送台、第一真空室、第二真空室、第三真空室、后旋转传送台和循环传送台，第一真空室、第二真空室和第三真空室底部分别设有工件小车的传动组件，第一真空室与前旋转传送台之间、第一真空室与第二真空室之间、第二真空室与第三真空室之间、第三真空室与后旋转传送台之间分别设有真空门阀；第一真空室为前过渡室，第二真空室为镀膜室，第三真空室为后过渡室，第一真空室与第三真空室并联连接至第一抽真空机组，第二真空室连接至第二抽真空机组； 所述真空门阀包括门阀板、门阀压板、平衡压缩弹簧、支承螺杆、门阀铰链、门阀轴和第一动力驱动机构，门阀板与门阀压板之间通过支承螺杆进行连接，支承螺杆上套设有平衡压缩弹簧，门阀压板的上下两端分别设有门阀铰链，各门阀铰链一端与门阀轴连接，门阀轴一端连接有第一动力驱动机构； 所述门阀板背向门阀压板的一侧设有凹槽，凹槽内设有门阀密封圈，门阀密封圈的截面呈尖端型； 所述第二真空室中设有平面靶，平面靶包括靶材、靶座、导磁板和磁铁，靶材通过固定螺丝锁紧安装于靶座上，磁铁通过导磁板安装于靶座内，靶座中设有水冷系统，靶材朝向水冷系统的一面分布有若干散热槽； 所述第二真空室中，平面靶的外周还设有挡板，工件外周为镀膜区域，挡板与镀膜区域相对应之处为开口状； 所述工件小车包括小车本体、小车导轨和小车传动轮；工件小车的传动组件采用螺杆旋转驱动方式，传动组件包括驱动螺杆和第二动力驱动机构；工件并排设于小车本体上，小车本体底部设有小车导轨，小车导轨底部设有若干小车传动轮，小车传动轮与驱动螺杆相配合，驱动螺杆一端连接有第二动力驱动机构。

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