深圳市矩阵多元科技有限公司肖荣锋获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223163473U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421782701.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射设备是由肖荣锋;朱新华;杨洪生;张晓军设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种磁控溅射设备，包括壳体、滑轨、滑块、C型绝缘件及磁控管，壳体开设有镀膜腔体，滑轨设于镀膜腔体内，滑块滑动连接于滑轨的一侧；C型绝缘件位于滑块背离滑轨的一侧且沿滑块的边缘弯折延伸形成第一安装槽，滑块固定于第一安装槽内，磁控管固定于C型绝缘件背离滑块的一侧。本申请所提供的磁控溅射设备中，C型绝缘件和滑轨连接，滑块和滑轨滑动连接，使得C型绝缘件、滑块和滑轨三者之间互相配合，磁控管固定于C型绝缘件，当滑块沿滑轨运行时，磁控管能够通滑块和C型绝缘板一同运动，壳体、滑轨、滑块和C型绝缘件结构的配合能够使磁控管不易从滑轨上脱落，能够有效避免磁控管脱落的情况，能够提高磁控管运动时的稳定性。
本实用新型磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射设备，其特征在于，包括壳体、滑轨、滑块、C型绝缘件及磁控管，所述壳体开设有镀膜腔体，所述滑轨设于所述镀膜腔体内，所述滑块滑动连接于所述滑轨的一侧；所述C型绝缘件位于所述滑块背离所述滑轨的一侧且沿所述滑块的边缘弯折延伸形成第一安装槽，所述滑块固定于所述第一安装槽内，所述磁控管固定于所述C型绝缘件背离所述滑块的一侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市矩阵多元科技有限公司，其通讯地址为：518131 广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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