成都沃特塞恩电子技术有限公司季宇获国家专利权
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龙图腾网获悉成都沃特塞恩电子技术有限公司申请的专利放电腔结构及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223163484U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421787974.4，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型放电腔结构及化学气相沉积设备是由季宇;李俊宏;陈森林设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本放电腔结构及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种放电腔结构及化学气相沉积设备，属于化学气相沉积设备领域。上述放电腔结构包括：腔体、样品台、及冷却容器，腔体包括底板；样品台设置在腔体中，用于放置待镀膜的基片。冷却容器设置在样品台的下方，并与底板或样品台的底部密封连接；冷却容器用于盛放冷却介质，冷却容器内的冷却介质能够直接对样品台的底部进行冷却。冷却容器内还设置有喷水组件，喷水组件能够对样品台的底部进行喷淋。当样品台的温度高于预设温度阈值时，采用流动水浸泡式冷却；当样品台的温度低于预设温度阈值时，采用喷淋式冷却或气流冷却，也可以采用二者混合冷却，此时，在控制样品台温度的同时，还节约了水资源。
本实用新型放电腔结构及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种放电腔结构，其特征在于，包括： 腔体，所述腔体包括底板； 样品台，所述样品台设置在所述腔体中，用于放置待镀膜的基片； 冷却容器，所述冷却容器设置在所述样品台的下方，并与所述底板或所述样品台的底部密封连接；所述冷却容器用于盛放冷却介质，所述冷却容器内的冷却介质能够直接对所述样品台的底部进行冷却； 所述冷却容器内还设置有喷水组件，所述喷水组件包括喷水头，所述喷水头位于所述样品台的下方，能够对样品台的底部进行喷淋； 所述冷却容器设置有进水管、排水管、进气管和排气管。
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