广东先导微电子科技有限公司吴倩获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种卡塞清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223159742U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421877628.5，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种卡塞清洗装置是由吴倩;刘火阳;周铁军;毕宏岩;马金峰设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种卡塞清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工的技术领域，公开了一种卡塞清洗装置，包括冲洗盒体、冲洗管道以及超声发生器，冲洗盒体设有抽湿口以及烘干口，冲洗管道与超声发生器分别安装于冲洗盒体内，冲洗管道包括主管道、第一管道和第二管道，第一管道与第二管道分别与主管道连通，第一管道的一端与第二管道的一端分别连接于主管道的外侧面，相邻第一管道之间形成有用于放置卡塞的卡塞放置区，第一管道设有第一喷口，第二管道伸入卡塞放置区，第二管道设有第二喷口，冲洗盒体的底部设有排放口，排放口连接排水管，排水管连接有排水阀门。本实用新型的卡塞清洗装置，避免在晾干过程引入新污染物，提升清洗效率和清洗效果，降低人工成本。
本实用新型一种卡塞清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种卡塞清洗装置，其特征在于：包括冲洗盒体、冲洗管道以及超声发生器，所述冲洗盒体设有抽湿口以及烘干口，所述抽湿口用于与抽湿装置连通，所述烘干口用于与氮气干燥器连通，所述冲洗管道与所述超声发生器分别安装于所述冲洗盒体内，所述冲洗管道包括沿高度方向布置的主管道、多个沿周向间隔布置的第一管道和第二管道，所述第一管道与所述第二管道分别与所述主管道连通，所述第一管道的一端与所述第二管道的一端分别连接于所述主管道的外侧面，相邻所述第一管道之间形成有用于放置卡塞的卡塞放置区，所述第一管道设有朝向所述卡塞放置区的第一喷口，所述第二管道伸入所述卡塞放置区，所述第二管道设有朝向所述卡塞放置区的第二喷口，所述冲洗盒体的底部设有排放口，所述排放口连接排水管，所述排水管连接有排水阀门。
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