东方日升新能源股份有限公司许伯军获国家专利权
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龙图腾网获悉东方日升新能源股份有限公司申请的专利一种干法蚀刻装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167441U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421927564.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种干法蚀刻装置是由许伯军;巢芳兴;刘帅设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种干法蚀刻装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于太阳能电池技术领域，具体为一种干法蚀刻装置，包括反应腔室；反应腔室内设有硅片输送辊道；反应腔室上位于硅片输送辊道的上方设有蚀刻气体进口，位于硅片输送辊道的下方设有排气口；反应腔室内设有至少一个第一加热器，第一加热器将反应腔室内的温度加热到反应温度；反应腔室通过排气口与废气处理室连通。当硅片进入反应腔室内且温度达到反应温度后，与自蚀刻气体进口进入的蚀刻气体反应，反应完成后的气体自排气口排出至废气处理腔室，该装置可应用于Topcon技术的绕镀去除或PolyFinger技术的背面减薄，且整个去绕镀过程或PolyFinger背面减薄过程采用干法技术，方式简单，蚀刻速度快，降低运行成本。
本实用新型一种干法蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种干法蚀刻装置，其特征在于，包括反应腔室； 所述反应腔室内设有硅片输送辊道；所述反应腔室上位于所述硅片输送辊道的上方设有蚀刻气体进口，位于所述硅片输送辊道的下方设有排气口； 所述反应腔室内设有至少一个第一加热器，所述第一加热器将所述反应腔室内的温度加热到反应温度； 所述反应腔室通过所述排气口与废气处理室连通。
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