新创电子技术(东莞)有限公司万琳旭获国家专利权
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龙图腾网获悉新创电子技术(东莞)有限公司申请的专利一种等离子蚀刻清洗槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167443U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421929789.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种等离子蚀刻清洗槽是由万琳旭设计研发完成，并于2024-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子蚀刻清洗槽在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子蚀刻清洗槽，涉及等离子蚀刻技术领域，包括槽体，所述槽体内侧设置有旋转架，所述旋转架上侧设置有压紧板，所述旋转架和所述压紧板上均设置有晶圆卡槽，所述旋转架一端设置有驱动电机，所述槽体内侧面上设置有限位滑槽，所述限位滑槽内设置有滑动杆，所述滑动杆两端穿设有丝杆，所述丝杆一端设置有伺服电机，所述滑动杆下侧面设置有清洗喷头。本实用新型通过设置的旋转架、压紧板、驱动电机、滑动杆、丝杆、清洗喷头、限位滑槽和伺服电机，晶圆固定在旋转架上，并通过压紧板进行压紧固定，驱动电机可以带动旋转架和晶圆旋转，伺服电机带动丝杆转动，进而使得滑动杆沿着限位滑槽移动，滑动杆下侧的清洗喷头可以将清洗液喷出，进而对旋转的晶圆进行快速清洗，提高晶圆的清洗效率。
本实用新型一种等离子蚀刻清洗槽在权利要求书中公布了：1.一种等离子蚀刻清洗槽，包括槽体1，其特征在于：所述槽体1内侧设置有旋转架14，所述旋转架14上侧设置有压紧板16，所述旋转架14和所述压紧板16上均设置有晶圆卡槽15，所述旋转架14一端设置有驱动电机6，所述槽体1内侧面上设置有限位滑槽8，所述限位滑槽8内设置有滑动杆9，所述滑动杆9两端穿设有丝杆13，所述丝杆13一端设置有伺服电机12，所述滑动杆9下侧面设置有清洗喷头11，所述槽体1外侧面上部设置有电磁铁4，所述槽体1上侧设置有槽盖2，所述槽盖2边侧对应所述电磁铁4位置设置有钢板7，所述槽体1上侧面设置有密封垫5。
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