苏州市湃芯半导体科技有限公司伏荣真获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州市湃芯半导体科技有限公司申请的专利晶圆移动夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167469U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421973221.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆移动夹持装置是由伏荣真;孙雪峰;盛洪刚;孙春设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆移动夹持装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆移动夹持装置，用于夹持扩膜设备上的晶圆拉环，包括安装板；夹持机构，包括夹持臂，所述夹持臂的第一端可移动的连接在安装板上，所述夹持臂的第二端设有第一夹爪和第二夹爪；夹爪轴，所述夹爪轴沿所述夹持臂的长度方向延伸，与第一夹爪或者第二夹爪连接，驱动第一夹爪或第二夹爪远离或者靠近第二夹爪或第一夹爪；叉臂，所述叉臂与所述夹爪轴连接，叉臂设有沿预设方向延伸的凸轮槽，所述凸轮槽内设有凸轮，所述凸轮连接有销轴，销轴由第一气缸驱动转动，带动凸轮在凸轮槽内转动，所述叉臂响应于凸轮的转动进行摆动，当叉臂摆动时，第一夹爪和第二夹爪靠近或分离。本申请提供的晶圆移动夹持装置能够提升晶圆加工质量和效率。
本实用新型晶圆移动夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆移动夹持装置，用于夹持扩膜设备上的晶圆拉环，其特征在于，包括： 安装板； 夹持机构，包括夹持臂，所述夹持臂的第一端可移动的连接在安装板上，所述夹持臂的第二端设有第一夹爪和第二夹爪； 夹爪轴，所述夹爪轴沿所述夹持臂的长度方向延伸，与第一夹爪或者第二夹爪连接，驱动第一夹爪或第二夹爪远离或者靠近第二夹爪或第一夹爪； 叉臂，所述叉臂与所述夹爪轴连接，所述叉臂设有沿预设方向延伸的凸轮槽，所述凸轮槽内设有凸轮，所述凸轮连接有销轴，所述销轴由第一气缸驱动转动，带动所述凸轮在凸轮槽内转动，所述叉臂响应于凸轮的转动进行摆动，当叉臂摆动时，第一夹爪和第二夹爪靠近或分离。
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