三星显示有限公司朴重善获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利基板处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167445U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422007964.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型基板处理装置是由朴重善设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种基板处理装置。基板处理装置包括载物台；框架结构物，布置于所述载物台上，并包括可变框架；第一垫，布置于所述框架结构物的下侧；第二垫，布置于所述第一垫一侧；紧固单元，在所述可变框架与所述第二垫之间连接所述可变框架和所述第二垫；以及运输器模块，布置于所述第二垫的一侧，其中，所述运输器模块构成为使所述可变框架与所述紧固单元的结合位置变更。
本实用新型基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 载物台； 框架结构物，布置于所述载物台上，并包括可变框架； 第一垫，布置于所述框架结构物的下侧； 第二垫，布置于所述第一垫的一侧； 紧固单元，在所述可变框架与所述第二垫之间连接所述可变框架和所述第二垫；以及 运输器模块，布置于所述第二垫的一侧，并构成为使所述紧固单元的结合位置在第一方向上从所述可变框架的一位置变更为另一位置， 所述运输器模块构成为变更所述可变框架和所述紧固单元的结合位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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