广东先导微电子科技有限公司吴瑶获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种抛光设备及其抛光垫的压平装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223160723U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422019169.3，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型一种抛光设备及其抛光垫的压平装置是由吴瑶;周铁军;毕宏岩;马金峰;田玉莲设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光设备及其抛光垫的压平装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种抛光设备及其抛光垫的压平装置，该抛光垫的压平装置包括两个压平驱动机构、连接件和压平器，每个压平驱动机构包括移动驱动源，连接件用于连接两个压平驱动机构，连接件上设置有可移动的磁性元件；压平器上设置有与连接件匹配套接的套轨；移动驱动源驱动磁性元件在连接件上移动，而采用磁悬浮方式带动套轨随磁性元件移动。该抛光垫的压平装置通过压平驱动机构和连接件将压平器调整至抛光盘的中心位置上方且压平器与抛光盘上的抛光垫紧密接触，采用压平器的自转配合移动驱动源驱动带动压平器在连接件移动再结合抛光盘的转动，实现对抛光盘的抛光垫进行压平操作，提高抛光垫的压平效率，且压平质量也可以得到保障。
本实用新型一种抛光设备及其抛光垫的压平装置在权利要求书中公布了：1.一种抛光垫的压平装置，应用于抛光机上，该抛光机上设置具有抛光垫的抛光盘，其特征在于，该抛光垫的压平装置包括： 两个压平驱动机构，分别位于所述抛光盘两侧设置在所述抛光机上，每个所述压平驱动机构包括移动驱动源，两个所述压平驱动机构的移动驱动源联动连接； 可伸缩的连接件，设置于所述抛光盘上方，所述连接件用于连接两个所述压平驱动机构，所述连接件上设置有可移动的磁性元件； 可转动的压平器，活动套接在所述连接件上，所述压平器上设置有与所述连接件匹配套接的套轨；所述移动驱动源驱动所述磁性元件在所述连接件上移动，而采用磁悬浮方式带动所述套轨随所述磁性元件移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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