甬矽电子(宁波)股份有限公司何正鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉甬矽电子(宁波)股份有限公司申请的专利晶圆容纳装置和晶圆处理设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223162540U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422056978.1,技术领域涉及:B65G29/00;该实用新型晶圆容纳装置和晶圆处理设备是由何正鸿;宋杰;蒋瑞董设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆容纳装置和晶圆处理设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种晶圆容纳装置和晶圆处理设备,涉及晶圆盒技术领域,该晶圆容纳装置包括底座、转盘、放置盒体和保护盒体,转盘可转动地设置在底座上;放置盒体设置在转盘的中部,且放置盒体上设置有多个用于放置晶圆中部的放置卡槽;保护盒体可拆卸地设置在转盘上,并用于跟随转盘同步转动,且保护盒体拼接于放置盒体的一侧,用于保护晶圆的边缘区域。相较于现有技术,本实用新型通过设置可转动的转盘,并将放置盒体设置在转盘的中部,晶圆能够放置在该放置盒体中,同时通过保护盒体实现保护,由于转盘能够带动放置盒体和保护盒体转动,因此可以通过旋转方式实现两侧抓取和放置,能够满足多个工艺连线作业要求,提升作业效率。
本实用新型晶圆容纳装置和晶圆处理设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆容纳装置,其特征在于,包括: 底座; 转盘,所述转盘可转动地设置在所述底座上; 放置盒体,所述放置盒体设置在所述转盘的中部,且所述放置盒体上设置有多个用于放置晶圆中部的放置卡槽; 保护盒体,所述保护盒体可拆卸地设置在所述转盘上,并用于跟随所述转盘同步转动,且所述保护盒体拼接于所述放置盒体的一侧,用于保护所述晶圆的边缘区域。
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