深圳市矩阵多元科技有限公司孙守祥获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种基片台的提升装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223163477U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422106023.2，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种基片台的提升装置是由孙守祥;凌日康;李炳坤;张晓军设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片台的提升装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基片台的提升装置，涉及半导体生产技术领域，包括基座和升降台，所述基座的两侧均至少设有一个导杆和至少一个升降气缸，升降台滑动连接于基座，升降台的两侧均设有直线轴承，直线轴承与导杆滑动配合，升降气缸上的活塞杆末端设有与升降台连接的浮动接头，沿基座的宽度方向，基座两侧的导杆错位设置，在升降台的升降移动过程中，能够通过浮动接头的摆动消除升降气缸的活塞杆与导杆的方向误差，从而降低安装精度和零件精度，利于降低成本，并且能够避免因安装误差导致运行不流畅的问题。
本实用新型一种基片台的提升装置在权利要求书中公布了：1.一种基片台的提升装置，其特征在于，包括： 基座，沿其长度方向的两端均至少设有一个导杆和至少一个升降气缸； 升降台，滑动连接于所述基座，所述升降台上沿所述基座长度方向的两侧均设有直线轴承，所述直线轴承与所述导杆滑动配合，所述升降气缸上的活塞杆末端设有与所述升降台连接的浮动接头；沿所述基座的宽度方向，所述基座两侧的所述导杆错位设置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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