天津中科晶禾电子科技有限责任公司宁昭旭获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利晶圆键合压头平行度调整工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167463U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422120871.9，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆键合压头平行度调整工装是由宁昭旭;高智伟;母凤文;谭向虎;刘福超设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆键合压头平行度调整工装在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体材料加工设备技术领域，尤其涉及一种晶圆键合压头平行度调整工装，包括：工装本体，所述工装本体具有上表面、下表面以及侧面，所述上表面与所述下表面的平行度误差小于1μm；传感器，配置于所述工装本体，所述传感器具有一转轴，与所述转轴连接的连接臂以及位于所述连接臂末端的球形触头；所述传感器被配置为，所述球形触头被触动时所述传感器能够采集所述球形触头的位移量；连接片，所述连接片的一端与下压头连接，所述连接片的另一端设有调节螺母。可灵活的进行晶圆键合机上压头与下压头之间平行度的检测与调整。进行平行度调整时，无需拆卸上压头与下压头，可直接在键合腔室中进行检测，提升了工作效率。
本实用新型晶圆键合压头平行度调整工装在权利要求书中公布了：1.晶圆键合压头平行度调整工装，其特征在于，包括：工装本体，所述工装本体具有上表面、下表面以及侧面； 传感器，配置于所述工装本体，所述传感器具有一转轴，与所述转轴连接的连接臂以及位于所述连接臂末端的球形触头； 所述传感器被配置为，所述球形触头被触动时所述传感器能够采集所述球形触头的位移量； 连接片，所述连接片的一端与下压头连接，另一端设有调节螺母。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司，其通讯地址为：300451 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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