苏州晶洲装备科技有限公司刘斌获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州晶洲装备科技有限公司申请的专利移载设备及基板上料系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223167456U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422123314.2,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型移载设备及基板上料系统是由刘斌;蒋新;施利君;沈洪旗设计研发完成,并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本移载设备及基板上料系统在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体加工技术领域,公开了一种移载设备及基板上料系统。该移载设备包括暂存台、移载架以及驱动单元,暂存台设置在花篮卡夹和传送机构之间;移载架具有第一支承部和第二支承部,第一支承部和第二支承部均用于承托基板;移载架沿第一方向具有初始位置和卸板位置,在初始位置,第一支承部沿竖向与花篮卡夹上的基板正对设置,第二支承部沿竖向与暂存台正对设置;在卸板位置,第一支承部沿竖向与暂存台正对设置,第二支承部沿竖向与传送机构正对设置;驱动单元用于驱动移载架沿竖向移动,驱动单元还用于驱动移载架沿第一方向在初始位置和卸板位置之间移动。该移载设备能够提高基板的上料速度,同时节省了作业空间。
本实用新型移载设备及基板上料系统在权利要求书中公布了:1.移载设备,其特征在于,用于从花篮卡夹向传送机构上移载基板200,所述移载设备包括: 暂存台1,所述暂存台1设置在所述花篮卡夹和所述传送机构之间; 移载架2,所述移载架2具有第一支承部和第二支承部,所述第一支承部和所述第二支承部均用于承托所述基板200; 所述移载架2沿第一方向具有初始位置和卸板位置,在所述初始位置,所述第一支承部沿竖向与所述花篮卡夹上的所述基板200正对设置,所述第二支承部沿竖向与所述暂存台1正对设置;在所述卸板位置,所述第一支承部沿竖向与所述暂存台1正对设置,所述第二支承部沿竖向与所述传送机构正对设置; 驱动单元3,所述移载架2设置在所述驱动单元3上,所述驱动单元3用于驱动所述移载架2沿竖向移动,所述驱动单元3还用于驱动所述移载架2沿所述第一方向在所述初始位置和所述卸板位置之间移动。
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