重庆工业职业技术学院蒋勇获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆工业职业技术学院申请的专利一种晶圆倒角机滤振控制结构及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118952033B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411210573.7，技术领域涉及：B24B41/02；该发明授权一种晶圆倒角机滤振控制结构及方法是由蒋勇;符迎松;王芳丽;孙惠娟;程功;公冶凡娇;叶爽;牛睿设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆倒角机滤振控制结构及方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体领域，具体涉及一种晶圆倒角机滤振控制结构及方法，包括：铸造而成的底座和机座，底座和机座均为镂空结构，机座固定在底座上；在底座镂空所在空间内设有“米”字型筋板；机座包括相互独立的主机座和悬架机座，主机座镂空部分设有“十”字型筋板，悬架机座镂空部分设有“X”型筋板。通过CAE模拟和实验数据验证，该系统能有效解决半导体加工过程中振幅大的问题，满足半导体加工高精度的要求。
本发明授权一种晶圆倒角机滤振控制结构及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆倒角机滤振控制结构，包括：铸造而成的底座和机座，底座和机座均为镂空结构，机座固定在底座上；在底座镂空所在空间内设有“米”字型筋板；机座包括相互独立的主机座和悬架机座，主机座镂空部分设有“十”字型筋板，悬架机座镂空部分设有“X”型筋板；所述底座和机座上设有振幅传感器；所述“米”字型筋板均匀设有圆形通孔，与通孔匹配有滤振块；控制结构工作时，所述振幅传感器采集实时振幅值；当实时振幅值大于0.003mm时，按照如下公式进行滤振控制计算，计算出需要增加或减少滤振块的数量和位置，计算公式如下： 其中，A：倒角机整体的振幅；F0：机头产生的振幅；k：倒角机底座的刚度；m：倒角机的质量；ω：机头的角速度，ω＝2πf，其中f是机头工作频率；c：阻尼系数，根据控制系统给出的滤振块布置信息，进行对应位置的滤振块的增加或减少。
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