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龙图腾网获悉深圳市新晶路电子科技有限公司申请的专利一种晶圆边缘金属残留去除装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223160649U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422151173.5，技术领域涉及：B24B9/06；该实用新型一种晶圆边缘金属残留去除装置是由谢亮春设计研发完成，并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆边缘金属残留去除装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆边缘金属残留去除装置，包括第一连接板，所述第一连接板的后侧中间固定连接有第二连接板，所述第二连接板的顶部固定连接有第一转板，所述第一转板的顶部前侧转动连接有第一夹具，所述第一转板的顶部后侧左右两侧均固定连接有套环，左侧所述套环的左侧固定连接有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端贯穿并固定连接有转动板，所述转动板的顶部固定连接有第二转板。本实用新型中，打磨完成后，通过第二伺服电机带动转动板和第二转板转动，即可将晶圆的表面露出，然后打开抽风机，即可将晶圆表面的碎屑吸到过滤箱当中，碎屑即可被过滤板过滤掉。

本实用新型一种晶圆边缘金属残留去除装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘金属残留去除装置，包括第一连接板6，其特征在于：所述第一连接板6的后侧中间固定连接有第二连接板11，所述第二连接板11的顶部固定连接有第一转板14，所述第一转板14的顶部前侧转动连接有第一夹具12，所述第一转板14的顶部后侧左右两侧均固定连接有套环15，左侧所述套环15的左侧固定连接有第二伺服电机13，所述第二伺服电机13的输出端贯穿并固定连接有转动板16，所述转动板16的顶部固定连接有第二转板18，所述第二转板18的顶部前侧固定连接有第三伺服电机20，所述第三伺服电机20的输出端贯穿并固定连接有第二夹具19，所述第二夹具19的底部设置有晶圆17，所述第一连接板6的前侧中间固定连接有第三连接板24，所述第三连接板24的顶部后侧固定连接有过滤箱25，所述过滤箱25的顶部设置有箱盖27，所述过滤箱25的后侧中间贯穿并固定连接有第二管道26，所述过滤箱25的内壁中间固定连接有过滤板28，所述过滤箱25的前侧中间贯穿并固定连接有第一管道23，所述第一管道23的一端设置有抽风机22，所述第一连接板6的顶部左右两侧均固定连接有固定板5，左侧所述固定板5的左侧中间设置有转动组件，所述转动组件的外圈设置有螺母副7，所述固定板5的内侧底部固定连接有桌板10，所述桌板10的顶部中间开设有滑轨9，所述螺母副7的顶部固定连接有U型板2，所述U型板2的顶部内侧固定连接有第四伺服电机21，所述第四伺服电机21的输出端贯穿并固定连接有第一旋转杆1，所述第一旋转杆1的外圈贯穿并固定连接有磨边砂轮4。

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