浙江麦格智芯科技有限公司于广华获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江麦格智芯科技有限公司申请的专利一种高磁性能磁码盘FeCoCr材料及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119220942B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411229398.6,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种高磁性能磁码盘FeCoCr材料及其制备方法是由于广华;刘锦涛;徐秀兰设计研发完成,并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高磁性能磁码盘FeCoCr材料及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种高磁性能磁码盘FeCoCr材料及其制备方法,涉及磁性材料技术领域,包括:(1)通过磁控溅射方法,在基底上,依次交替直流溅射B靶、FeCoCr靶、B靶和FeCoCr靶,然后再溅射Ta层,得到制备态薄膜;(2)将所述制备态薄膜进行分级退火处理。本发明在提高FeCoCr合金薄膜硬磁性的同时实现更加均匀的微结构,为其在高密度磁码盘领域的应用提供重要的科学数据支持,又具有较低的成本。
本发明授权一种高磁性能磁码盘FeCoCr材料及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高磁性能磁码盘FeCoCr材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: (1)通过磁控溅射方法,在基底上,依次交替直流溅射B靶、FeCoCrMoTi合金靶材、B靶和FeCoCrMoTi合金靶材,然后再溅射Ta层,得到制备态薄膜;溅射过程中本底真空度低于3×10-5Pa,Ar气分压维持在0.4Pa; (2)将所述制备态薄膜进行分级退火处理; FeCoCr材料结构为:基底BFeCoCrMoTiBFeCoCrMoTiTa; 溅射中使用的FeCoCrMoTi合金靶材,名义成分为Fe:Co:Cr:Mo:Ti=42:25:30:3:1。
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