北京北方华创微电子装备有限公司陈敬永获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利冷却装置和退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223165942U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422243033.0，技术领域涉及：F27D9/00；该实用新型冷却装置和退火设备是由陈敬永;路彦辉;石烁设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却装置和退火设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种冷却装置和退火设备，该冷却装置包括冷盘和设置有冷却腔的机体，以及进排气系统。机体包括位于冷却腔上方的顶部壁板，顶部壁板与冷盘的中心区域对应的位置设置有带进气扩散腔的凸台；进气扩散腔的顶部开口与位于顶部壁板顶面的进气系统连通；进气扩散腔的底部至少中心区域设置有挡流板；进气扩散腔的底部沿挡流板的周向依次排布设置有多个出气孔，每个出气孔的两端分别与进气扩散腔、冷却腔连通。本申请通过在冷却腔顶部中心区域设置进气扩散腔和挡流板以及多个出气孔，能够对气流场进行优化，从而解决某些晶圆剥片在退火工艺后的冷却过程中回落在晶圆上导致产品良率低的问题。
本实用新型冷却装置和退火设备在权利要求书中公布了：1.一种冷却装置，包括： 机体，其内部设置有冷却腔； 冷盘，位于所述冷却腔的底部，用于放置晶圆5； 进气系统，用于为所述冷却腔输送工艺气体； 排气系统，用于将所述工艺气体由所述冷却腔排出； 其特征在于，所述机体包括位于所述冷却腔顶部的顶部壁板，所述顶部壁板与所述冷盘的中心区域对应的位置设置有凸台102，所述凸台102内设置有进气扩散腔； 所述进气扩散腔的顶部开口位于所述顶部壁板的顶面，以与所述进气系统连通；并且，所述进气扩散腔的通流截面面积大于所述进气系统中的进气输送通道的通流截面面积； 所述进气扩散腔的底部至少中心区域设置有挡流板104；所述进气扩散腔的底部沿所述挡流板104的周向依次排布设置有多个出气孔111，每个所述出气孔111的两端分别与所述进气扩散腔、所述冷却腔连通； 所述排气系统位于所述冷却腔的侧壁。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号