上海新傲科技股份有限公司汪海亮获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新傲科技股份有限公司申请的专利抛光环及化学机械研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223160722U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422244230.4，技术领域涉及：B24B37/32；该实用新型抛光环及化学机械研磨装置是由汪海亮;施荣荣;刘路设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光环及化学机械研磨装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种抛光环及化学机械研磨装置。所述抛光环包括：环本体，所述环本体包括沿第一方向相对分布的上表面和下表面，所述环本体用于固定待研磨的晶圆；沟槽，所述沟槽位于所述环本体的下表面；通孔，所述通孔沿所述第一方向贯穿所述环本体，且所述通孔与所述沟槽连通。本实用新型使得研磨垫表面在晶圆到达之前就能够均匀且充分的覆盖研磨液，以提高晶圆研磨的均匀性，从而改善了化学机械研磨的质量，实现对晶圆产品性能和制造良率的提升。
本实用新型抛光环及化学机械研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种抛光环，其特征在于，包括： 环本体，所述环本体包括沿第一方向相对分布的上表面和下表面，所述环本体用于固定待研磨的晶圆； 沟槽，所述沟槽位于所述环本体的下表面； 通孔，所述通孔沿所述第一方向贯穿所述环本体，且所述通孔与所述沟槽连通。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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