深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司王耀获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利作业机台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223167448U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422274665.3,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型作业机台是由王耀设计研发完成,并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本作业机台在说明书摘要公布了:本申请涉及一种作业机台,该作业机台包括装载部1、清洗装置3和防溅罩4,装载部1被配置为支撑待清洗件2;清洗装置3被配置为对待清洗件2进行清洗,清洗装置3包括喷嘴33,喷嘴33用于向待清洗件2喷出第一清洗液;防溅罩4环绕设置于喷嘴置33的外周,且防溅罩4朝向装载部1的一侧设有遮挡面,以通过遮挡面阻挡第一清洗液飞溅。本申请作业机台通过设置防溅罩4,可以减少第一清洗液的飞溅,提高待清洗件2的清洗效率,提升其最终的产品品质。
本实用新型作业机台在权利要求书中公布了:1.一种作业机台,其特征在于,包括: 装载部1,被配置为支撑待清洗件2; 清洗装置3,被配置为对所述待清洗件2进行清洗,所述清洗装置3包括喷嘴33,所述喷嘴33用于向所述待清洗件2喷出第一清洗液;和 防溅罩4,环绕设置于所述喷嘴33的外周,且所述防溅罩4朝向所述装载部1的一侧设有遮挡面,以通过所述遮挡面阻挡所述第一清洗液飞溅。
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