深圳市矩阵多元科技有限公司黎佐兴获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利晶圆机械手以及晶圆输送设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167471U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422292068.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆机械手以及晶圆输送设备是由黎佐兴;杨福满;杨洪生;朱新华;张晓军设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆机械手以及晶圆输送设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆机械手以及晶圆输送设备，涉及晶圆输送设备技术领域，其中晶圆机械手包括安装部和至少一个手指本体，手指本体设于安装部，手指本体沿自身长度方向设有至少两个放置槽，放置槽沿手指本体长度方向的两侧侧壁均形成限位壁，放置槽的两个限位壁均呈圆弧形且处于同一圆周上，放置槽的底面形成支撑面，支撑面设有沿手指本体的厚度方向贯穿的减重口。本实用新型的晶圆机械手以及晶圆输送设备，不仅能够避免晶圆片出现侧滑，支撑更加稳固，而且能够同时支撑多个晶圆片，进而能够提高输送效率。
本实用新型晶圆机械手以及晶圆输送设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆机械手，其特征在于，包括： 安装部； 至少一个手指本体，设于所述安装部，所述手指本体沿自身长度方向设有至少两个放置槽，所述放置槽沿所述手指本体长度方向的两侧侧壁均形成限位壁，所述放置槽的两个所述限位壁均呈圆弧形且处于同一圆周上，所述放置槽的底面形成支撑面，所述支撑面设有沿所述手指本体的厚度方向贯穿的减重口。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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