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龙图腾网获悉海宁跨界国际半导体制造有限公司申请的专利一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223160721U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422323878.0，技术领域涉及：B24B37/08；该实用新型一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置是由邵永杰设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置。所述碳化硅晶圆的自动精细研磨装置包括：支撑板，所述支撑板上设置有双面研磨机构、传动机构和定位夹持机构；所述双面研磨机构包括有支撑架，所述支撑架固定安装于支撑板上，所述支撑架上固定安装有液压杆，支撑板上方设置有支撑块。本实用新型提供的碳化硅晶圆的自动精细研磨装置通过设置有双面研磨机构和传动机构联动配合，使得能够在研磨硅晶圆时，上研磨盘和下研磨盘可以对硅晶圆上下面同步研磨，提高研磨效率；通过设置有环形中空管，使得在研磨硅晶圆产生粉尘时，环形中空管内侧环形布置的吸尘嘴可以全方位的将粉尘吸走，提高吸尘除尘效率的优点。

本实用新型一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置，其特征在于，包括：支撑板，所述支撑板上设置有双面研磨机构、传动机构和定位夹持机构； 所述双面研磨机构包括有支撑架，所述支撑架固定安装于支撑板上，所述支撑架上固定安装有液压杆，支撑板上方设置有支撑块，所述液压杆输出端与支撑块固定连接，所述支撑块上转动安装有转动杆，所述转动杆的一端固定安装有上研磨盘，所述转动杆上固定套设有传动轮一，所述支撑块上固定安装有步进电机，所述步进电机输出端与转动杆的一端固定连接，所述支撑板上开设有安装槽，所述安装槽内转动安装有下研磨盘，所述下研磨盘上固定安装有转动轴一，所述下研磨盘转动贯穿支撑板并固定安装有转动轴一； 所述传动机构包括有连动杆，所述连动杆转动安装于支撑块上，所述连动杆的一端固定安装有传动轮三，所述传动轮三与传动轮一之间缠绕有传动带一，所述支撑板上固定安装有固定块，所述固定块上转动安装有转动管，所述连动杆的一端延伸至转动管内并与转动管滑动连接，所述转动管的底端固定安装有齿轮一，所述支撑板上转动安装有转动轴二，所述转动轴二上固定套设有齿轮二和传动轮四，所述齿轮二与齿轮一相啮合，所述传动轮四与转动轴一之间缠绕有传动带二。

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