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龙图腾网获悉中科艾尔(北京)科技有限公司申请的专利一种半导体制造用超洁净阀门获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119934209B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510421805.1，技术领域涉及：F16H37/12；该发明授权一种半导体制造用超洁净阀门是由王静;王保保;索赛金;高翔;靳国胜;袁辉;张俊;耿德占设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体制造用超洁净阀门在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体制造用超洁净阀门，涉及半导体制造用的零部件和半导体生产设备零部件技术领域，主要包括进入接头、排出接头、提动芯、弹性件、分割件和波纹管主体，分割件固定于波纹管主体上并位于波纹管主体的两端面之间，提动芯与分割件固定连接，提动芯能够离开进入接头使流体通过流通空间、流动通道进入排出接头。本发明的半导体制造用超洁净阀门还包括推动机构，推动机构的输出件与分割件和或提动芯固定连接并能够带动提动芯沿第一方向运动。本发明能够降低提动芯与半导体制造用超洁净阀门的内壁的摩擦，且能够实现半导体制造用超洁净阀门和普通波纹管阀的功能。

本发明授权一种半导体制造用超洁净阀门在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造用超洁净阀门，其特征在于：包括进入接头（101）、排出接头（102）、提动芯（1）、弹性件、分割件（2）、导向杆（6）、推动机构、连接桥（9）、滑动件（10）和波纹管主体（5），所述进入接头（101）、所述波纹管主体（5）和所述排出接头（102）沿第一方向依次设置并连通，所述提动芯（1）和所述弹性件沿所述第一方向依次设置于所述波纹管主体（5）的内部，所述弹性件的两端分别与排出接头（102）和所述提动芯（1）抵接，所述分割件（2）固定于所述波纹管主体（5）上，所述提动芯（1）与所述分割件（2）通过连接件固定连接，所述导向杆（6）平行设置于所述波纹管主体（5）的外侧，且所述导向杆（6）与所述排出接头（102）滑动连接，所述分割件（2）与所述导向杆（6）固定连接，所述分割件（2）为分割环（201），所述连接件为多个连杆（202），所述分割环（201）凸出于所述波纹管主体（5）的外壁，所述连杆（202）穿过所述波纹管主体（5）的外壁，且所述连杆（202）与所述波纹管主体（5）密封连接，所述推动机构包括丝杠（12）和螺母（13），所述丝杠（12）沿所述波纹管主体（5）的长度方向设置于所述波纹管主体（5）外，且与所述导向杆（6）固定连接，所述螺母（13）转动设置于所述进入接头（101）上，且能绕自身轴线转动，所述螺母（13）螺纹连接于所述丝杠（12）外，所述连接桥（9）套设于所述波纹管主体（5）的外侧，且所述连接桥（9）的两端分别与所述进入接头（101）和所述排出接头（102）固定连接，所述滑动件（10）滑动套设于所述连接桥（9）上，且所述滑动件（10）与所述螺母（13）形成轴向固定且周向能够转动的连接，所述滑动件（10）和所述连接桥（9）上分别设置有第一限位孔和第二限位孔（901），限位件能够依次穿过所述第一限位孔和所述第二限位孔（901），并将所述滑动件（10）与所述连接桥（9）限位。

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