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龙图腾网获悉浙江大学;浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种加速光刻热点检测的方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119919422B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510423527.3，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种加速光刻热点检测的方法及装置是由王科;任堃;高大为设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种加速光刻热点检测的方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种加速光刻热点检测的方法及装置，包括：获取产品版图数据；对产品版图数据进行光刻工艺热点检查，定位热点，设定热点图形区域半径；将热点区域图形转换为特征向量并映射为图的节点，使用贪心算法实现基于图的动态热点库形成和更新；产品版图数据局部化与高风险热点版图区域筛选；光刻模拟仿真与光刻热点图形检测结果输出。本发明通过版图局部化的热点检测，可将光刻工艺热点仿真由全局转化为局部处理，大大降低光刻热点检查时间；改良的热点库热点匹配方法，包括热点图形尺寸选取方法、结合贪心算法的基于图的动态热点库建立算法，使得热点库图形更容易匹配且加快训练速度。

本发明授权一种加速光刻热点检测的方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种加速光刻热点检测的方法，其特征在于，该方法包括： S1、获取产品版图数据； S2、对产品版图数据进行光刻工艺热点检查，定位热点，设定热点图形区域半径； S3、将热点区域图形转换为特征向量并映射为图的节点，使用贪心算法实现基于图的动态热点库形成和更新；所述使用贪心算法实现基于图的动态热点库形成具体为： 根据热点区域图形的尺寸预设版图的层数，选择最顶层作为遍历层，选择节点J并在遍历层中建立该节点的最近邻居列表、等待列表和已访问列表，其中对最近邻居列表设置容量上限k，将最近邻居列表初始化为该遍历层中除前述选择的节点J外的任意点； 判断等待列表中各个节点与节点J的距离关系，并将小于最近列表中最大距离的节点补充进最近邻居列表中，否则忽略，直至此层中等待列表中所有节点遍历完毕；若此层中的最近邻居列表数量超过上限k，则选择与J点距离最近的k个点，若此层的节点数小于k，则将此层全部节点放入最近邻居列表；遍历过的节点均放入已访问列表中； 在本层全部节点遍历完毕后，进入下一层建立新的最近邻居列表、等待列表和已访问列表进行遍历，如此循环到最底层，将最后底层最近邻居列表中与J点距离小于等于阈值Dth的节点被视作同类热点，Dth选择根据热点图形尺寸决定；同类节点保持原节点图，若非同类节点则插入节点并更新节点图； S4、对新的需要检查热点的产品版图数据局部化，即关注版图关键区域，忽略版图边缘不重要的部分，再从热点库中匹配热点图形区域，得到的热点图形区域被筛选为高风险热点版图区域； S5、对高风险的热点版图区域进行光刻模拟仿真，最后输出光刻热点图形检测结果。

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