ASM IP控股有限公司森幸博获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP控股有限公司申请的专利基底加工设备和基底加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110797251B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910547053.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基底加工设备和基底加工方法是由森幸博设计研发完成，并于2019-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基底加工设备和基底加工方法在说明书摘要公布了：基底加工设备的示例包括：台板；用于使所述台板旋转的驱动单元；仅面对所述台板的外边缘的一部分的电极；用于向所述电极供应高频功率的高频功率供应单元；以及用于向所述电极与所述台板之间的间隙供应气体的气体供应装置。
本发明授权基底加工设备和基底加工方法在权利要求书中公布了：1.一种基底加工设备，包括： 台板，所述台板接地； 驱动单元，其用于使所述台板旋转； 电极，其仅面对所述台板的外边缘的一部分而不围绕所述台板； 高频功率供应单元，其用于向所述电极供应高频功率； 气体供应装置，其用于向所述电极与所述台板之间的间隙供应气体以在所述电极和所述台板之间的间隙内产生等离子体； 设置为面对电极的阻抗调节电极；以及 将所述阻抗调节电极接地的变容器。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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