广东精瓷新材料有限公司陈闻杰获国家专利权
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龙图腾网获悉广东精瓷新材料有限公司申请的专利一种设置背吹气孔的静电卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223156009U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422329473.8，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种设置背吹气孔的静电卡盘是由陈闻杰;陈关亮;常鑫烽;李国明;兰建辉设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种设置背吹气孔的静电卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型具体涉及设置背吹气孔的静电卡盘，一种设置背吹气孔的静电卡盘，包括基座以及由上至下依次设置的第一介电层、吸附电极层、第二介电层、加热器层和第三介电层，第三介电层的下表面设置于基座的上表面；第一介电层、第二介电层和第三介电层均为陶瓷介电层；基座的底部设置有气道以及与气道连通的气体通入孔，静电卡盘还设置有多个贯穿气孔，贯穿气孔包括第一孔道以及与第一孔道的上端开口连通的第二孔道，第一孔道位于气道内腔的上方并与气道内腔连通，第二孔道向上延伸并贯穿第一介电层，第一孔道的孔径大于第二孔道的孔径。静电卡盘使用时可降低氦气通道的堵塞，使静电卡盘和晶圆的温度更均匀，且便于后期维护清理。
本实用新型一种设置背吹气孔的静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种设置背吹气孔的静电卡盘，其特征在于：包括基座以及由上至下依次设置的第一介电层、吸附电极层、第二介电层、加热器层和第三介电层，所述第三介电层的下表面设置于基座的上表面；所述第一介电层、第二介电层和第三介电层均为陶瓷介电层；所述吸附电极层和加热器层分别设置有吸附电极引出端和加热电极引出端； 所述基座的底部设置有气道以及与气道连通的气体通入孔，所述静电卡盘还设置有多个贯穿气孔，所述贯穿气孔包括第一孔道以及与第一孔道的上端开口连通的第二孔道，所述第一孔道位于气道内腔的上方并与气道内腔连通，所述第二孔道向上延伸并贯穿第一介电层，所述第一孔道的孔径大于第二孔道的孔径。
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