郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种自动扫描检测晶圆放置位置的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155987U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422342336.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种自动扫描检测晶圆放置位置的装置是由吴泓明;钟佑生;陈志刚;林明政;王增双设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动扫描检测晶圆放置位置的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种自动扫描检测晶圆放置位置的装置，包括扫描器、与扫描器连接的驱动装置、晶圆防突出检测传感器以及控制系统；晶圆防突出检测传感器，用于检测晶圆是否突出于晶圆盒外；扫描器在驱动装置的作用下能够往复移动对晶圆盒内进行扫描；控制系统与扫描器、晶圆防突出检测传感器电连接，用于接收扫描器和晶圆防突出检测传感器的检测信息，并根据检测信息判断晶圆盒内的晶圆放置位置是否准确。本申请提供的装置，可以自动检测晶圆盒内的晶圆是否斜插或突出于晶圆盒外，并可以将检测结果及时反馈于机台，机台通过此结果判断是否可以正常运行；避免了因未能及时发现晶片斜插，而误动作对机台造成损坏及良率损失。
本实用新型一种自动扫描检测晶圆放置位置的装置在权利要求书中公布了：1.一种自动扫描检测晶圆放置位置的装置，用于检测晶圆盒内的晶圆放置位置是否准确，所述晶圆盒内具有多层晶圆放置槽位，其特征在于，所述自动扫描检测晶圆放置位置的装置包括扫描器、与所述扫描器连接的驱动装置、晶圆防突出检测传感器、以及控制系统； 所述晶圆防突出检测传感器，用于检测晶圆是否突出于所述晶圆盒外； 所述扫描器在所述驱动装置的作用下能够往复移动对所述晶圆盒内进行扫描； 所述控制系统与所述扫描器、所述晶圆防突出检测传感器电连接，用于接收所述扫描器和所述晶圆防突出检测传感器的检测信息，并根据所述检测信息判断所述晶圆盒内的晶圆放置位置是否准确。
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