湘能华磊光电股份有限公司王杰获国家专利权
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龙图腾网获悉湘能华磊光电股份有限公司申请的专利一种可靠便于清洗的刻蚀盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223155999U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422348314.2,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种可靠便于清洗的刻蚀盘是由王杰;黄胜蓝;谈健设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可靠便于清洗的刻蚀盘在说明书摘要公布了:本实用新型涉及刻蚀盘清洗的技术领域,特别是涉及一种可靠便于清洗的刻蚀盘,包括:刻蚀盘和安装组件,刻蚀盘两端分别对称设置有安装柱,安装柱上设置有定位孔,一组安装柱转动插拔设置于支撑件安装孔内部,支撑件设置于安装件上,安装件轴腔内部滑动设置有调节件,调节件组装孔内转动插拔设置有另一组安装柱,安装件螺纹孔内设置有螺纹杆,螺纹杆与调节件配合接触连接,调节件轴腔内部转动设置有传动轴,传动轴一端设置为多棱型结构,传动轴多棱型结构与安装柱定位孔配合插拔连接,安装件设置于安装组件上;驱动组件,驱动组件设置于安装组件上,驱动组件用于刻蚀盘提供转动动力;其清洗效率高,提高清洗充分度。
本实用新型一种可靠便于清洗的刻蚀盘在权利要求书中公布了:1.一种可靠便于清洗的刻蚀盘,其特征在于,包括: 刻蚀盘和安装组件,所述刻蚀盘两端分别对称设置有安装柱,所述安装柱上设置有定位孔,一组所述安装柱转动插拔设置于支撑件安装孔内部,所述支撑件设置于安装件上,所述安装件轴腔内部滑动设置有调节件,所述调节件组装孔内转动插拔设置有另一组安装柱,所述安装件螺纹孔内设置有螺纹杆,所述螺纹杆与调节件配合接触连接,所述调节件轴腔内部转动设置有传动轴,所述传动轴一端设置为多棱型结构,所述传动轴多棱型结构与安装柱定位孔配合插拔连接,所述安装件设置于安装组件上; 驱动组件,所述驱动组件设置于安装组件上,所述驱动组件用于刻蚀盘提供转动动力。
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