拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利热炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223154004U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422343867.9,技术领域涉及:F27B17/00;该实用新型热炉是由龙占勇;周亮;金文凯;李燕清;王勤勤;林佳继设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本热炉在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体制造技术领域,公开了一种热炉。该热炉包括有柜体、温控水路和镜子,柜体设置有调节仓,调节仓具有开口,温控水路包括有至少两个调节阀,调节阀中的至少一个具有视窗和第一调节部,至少两个调节阀均设置于调节仓内且第一调节部的操作方向均朝向开口设置,镜子与视窗呈二面夹角固定设置于调节仓,镜子的镜面相较于背面靠近第一调节部,且用于向开口方向展示视窗的镜像画面。通过将调节阀集中设置,并利用镜子,使得第一调节部操作方向均朝向开口,且通过开口能够同时读取部分调节阀的视窗内容,从而大大方便了对温控水路的同时读取和调节,使得对热炉的调试和调节过程能够简化,方便以较高的精度对温控水路进行调节。
本实用新型热炉在权利要求书中公布了:1.热炉,其特征在于,包括: 柜体,所述柜体设置有调节仓,所述调节仓具有开口; 温控水路,所述温控水路用于调节所述热炉的温度;所述温控水路包括有至少两个调节阀,所述至少两个调节阀中的至少一个具有视窗和第一调节部,所述温控水路的所述至少两个调节阀均设置于所述调节仓内且所述第一调节部的操作方向均朝向所述开口设置; 镜子,所述镜子与所述视窗呈二面夹角固定设置于所述调节仓,所述镜子的镜面相较于背面靠近所述第一调节部,且用于向所述开口方向展示所述视窗的镜像画面。
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