杭州欧诺半导体设备有限公司赵辉获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州欧诺半导体设备有限公司申请的专利一种半导体加工用晶圆机械手获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223147151U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422335449.5,技术领域涉及:B25J15/02;该实用新型一种半导体加工用晶圆机械手是由赵辉;王鑫志;宋大伟;罗栋设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工用晶圆机械手在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工技术领域,且公开了一种半导体加工用晶圆机械手,包括主体机构和机械手调节机构,所述机械手调节机构位于主体机构的上方,所述主体机构包括调节安装座、安装凹槽和调节组件,所述安装凹槽固定设置在调节安装座上端的后端,所述调节组件位于调节安装座的上方;所述调节组件包括传动电机和转动轴,所述传动电机固定安装在安装凹槽内端的左端。该半导体加工用晶圆机械手,通过对主体机构的安装,使得本实用新型的调节能力有所提升,在实际使用过程中,可以便捷地根据使用需要调节机械手本体的安装以及使用位置,且便于对晶圆进行输送,提高了该半导体加工用晶圆机械手的使用便利性。
本实用新型一种半导体加工用晶圆机械手在权利要求书中公布了:1.一种半导体加工用晶圆机械手,包括主体机构1和机械手调节机构2,其特征在于:所述机械手调节机构2位于主体机构1的上方,所述主体机构1包括调节安装座101、安装凹槽102和调节组件103,所述安装凹槽102固定设置在调节安装座101上端的后端,所述调节组件103位于调节安装座101的上方; 所述调节组件103包括传动电机1031和转动轴1032,所述传动电机1031固定安装在安装凹槽102内端的左端,所述转动轴1032固定安装在传动电机1031右端的传动端。
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