国芯半导体(仪征)有限公司顾金海获国家专利权
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龙图腾网获悉国芯半导体(仪征)有限公司申请的专利一种半导体硅外延片生长用鼓泡器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223150693U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422358431.7,技术领域涉及:C30B25/14;该实用新型一种半导体硅外延片生长用鼓泡器是由顾金海;闪晨晨设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅外延片生长用鼓泡器在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体硅外延片生长用鼓泡器,包括旋转座和搅拌电机,所述旋转座的内壁上安装有搅拌电机,所述搅拌电机的输出端安装有蜗杆,所述蜗杆一侧的旋转座内部活动安装有搅拌杆,所述搅拌杆的表面套装有蜗轮,且蜗杆与蜗轮相互啮合,所述搅拌杆的顶端活动安装有转接头,所述转接头的顶端安装有柔性软管,所述搅拌杆的侧壁上安装有连接管,且柔性软管贯穿转接头和搅拌杆与连接管相连接,所述搅拌杆的表面对称安装有两组叶片,且连接管延伸至叶片的表面。本实用新型不仅实现了便捷的自转式和圆周转动式对液态源进行鼓泡,方便了从不同的液位对液态源进行鼓泡作业,增加了鼓泡的均匀度,而且提高了鼓泡的效果。
本实用新型一种半导体硅外延片生长用鼓泡器在权利要求书中公布了:1.一种半导体硅外延片生长用鼓泡器,包括旋转座7和搅拌电机13,其特征在于:所述旋转座7的内壁上安装有搅拌电机13,所述搅拌电机13的输出端安装有蜗杆10,所述蜗杆10一侧的旋转座7内部活动安装有搅拌杆12,所述搅拌杆12的表面套装有蜗轮11,且蜗杆10与蜗轮11相互啮合,所述搅拌杆12的顶端活动安装有转接头9,所述转接头9的顶端安装有柔性软管8,所述搅拌杆12的侧壁上安装有连接管14,且柔性软管8贯穿转接头9和搅拌杆12与连接管14相连接,所述搅拌杆12的表面对称安装有两组叶片15,且连接管14延伸至叶片15的表面,所述连接管14的表面安装有等间距的多组出气孔27,所述旋转座7的外部设置有底架1。
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